Силаныг хэрхэн үйлдвэрлэдэг вэ?
(1) Магнийн цахиурын арга: устөрөгч дэх цахиур, магнийн холимог нунтагыг ойролцоогоор 500°С-т урвалд оруулж, үүссэн магнийн цахиурыг аммонийн хлоридтой бага температурт шингэн аммиакт урвалд оруулж силан гарган авна. Шингэн азотоор хөргөсөн нэрэх төхөөрөмжид цэвэршүүлснээр цэвэр силан гарна.
(2) Гетероген урвалын арга: Цахиурын нунтаг, цахиурын тетрахлорид, устөрөгчийг 500°С-аас дээш халаасан шингэн давхаргатай зууханд хийж, трихлоросилан гарган авна. Трихлоросиланыг нэрэх замаар ялгана. Дихлоросиланыг катализаторын оролцоотой гетероген урвалаар олж авдаг. Олж авсан дихлоросилан нь цахиурын тетрахлорид ба трихлоросилантай холилдсон хольц тул нэрэлтийн дараа цэвэр дихлоросилан авч болно. Трихлоросилан ба моносиланыг дихлоросиланаас гетероген урвалын катализатор ашиглан гаргаж авдаг. Олж авсан моносиланыг бага температурт өндөр даралтын нэрэх төхөөрөмжөөр цэвэршүүлдэг.
(3) Цахиур-магнийн хайлшийг давсны хүчлээр эмчилнэ.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) Цахиур-магнийн хайлш шингэн аммиак дахь аммонийн бромидтой урвалд ордог.
(5) Лити хөнгөн цагааны гидрид, литийн боргидрид гэх мэтийг бууруулагч бодис болгон ашиглан эфир дэх тетрахлоросилан эсвэл трихлоросиланыг багасгана.
2. Силаныг анхдагч материал нь юу вэ?
бэлтгэх түүхий эдсилангол төлөв цахиурын нунтаг ба устөрөгч юм. Цахиурын нунтагны цэвэр байдлын шаардлага харьцангуй өндөр бөгөөд ерөнхийдөө 99.999% -иас дээш байдаг. Бэлтгэсэн силаны өндөр цэвэршилтийг хангахын тулд устөрөгчийг мөн цэвэршүүлдэг.
3. Силан ямар үүрэгтэй вэ?
Цахиурын бүрдэл хэсгүүдийг хангадаг хийн эх үүсвэрийн хувьд силаныг өндөр цэвэршилттэй поликристалл цахиур, нэг талст цахиур, микрокристалл цахиур, аморф цахиур, цахиурын нитрид, цахиурын исэл, гетероген цахиур, төрөл бүрийн металл силицид үйлдвэрлэхэд ашиглаж болно. Өндөр цэвэршилттэй, нарийн хяналттай учраас энэ нь бусад олон цахиурын эх үүсвэрээр солигдохгүй чухал онцгой хий болсон. Силан нь микроэлектроник, оптоэлектроникийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг ба нарны зай, хавтгай дэлгэц, шил, ган бүрэх зэрэгт ашиглагддаг бөгөөд мөхлөгт өндөр цэвэршилттэй цахиурыг их хэмжээгээр үйлдвэрлэх дэлхийн цорын ганц завсрын бүтээгдэхүүн юм. Силаныг дэвшилтэт керамик, нийлмэл материал, функциональ материал, биоматериал, өндөр энергитэй материал гэх мэт үйлдвэрлэлд ашиглах зэрэг өндөр технологийн хэрэглээ одоо ч бий болж, олон шинэ технологи, шинэ материал, болон шинэ төхөөрөмжүүд.
4. Силан нь байгаль орчинд ээлтэй юу?
Тийм ээ, силан цэвэрлэх бодис нь хүнд металлын ион болон бусад бохирдуулагч бодис агуулаагүй бөгөөд ROHS болон SGS байгаль орчныг хамгаалах стандартад нийцдэг.
5. Силан түрхэх
Хлоросилан ба алкил хлоросилануудын араг ясны бүтэц, цахиурын эпитаксиаль өсөлт, полисиликон, цахиурын исэл, цахиурын нитрид гэх мэт түүхий эд, нарны зай, оптик утас, өнгөт шилний үйлдвэрлэл, химийн уурын хуримтлал.
Силан хий: Түүний шинж чанар, хэрэглээг нээх
