Ko te hanga Semiconductor e whakawhirinaki ana ki te maha o nga momo hau, ka taea te wehewehe ki nga momo matua e toru: hau nui, hau motuhake, me nga hau e tarai ana. Ko enei hau me tino parakore kia kore ai e poke, ka pakaru te hangahanga ngawari me te uaua.

Nga hau nui

Hauota (N₂):

Te Mahi: He maha nga kaupapa a N₂, tae atu ki te horoi i nga ruuma tukanga me te whakarato i te hau koretake i roto i nga waahanga rereke o te hanga semiconductor.
Ētahi atu Tuhipoka: He maha nga wa e whakamahia ana te hauota ki te kawe me te rokiroki o nga angiangi silicon hei whakaiti i te waikura. Ko tana ahua korekore e whakarite kia kore e tauhohe ki etahi atu rawa, he pai mo te pupuri i nga taiao tukatuka ma.

Argon (Ar):
Te Mahi: I tua atu i tana whai waahi ki nga tukanga plasma, he mea nui te argon ki nga mahi he mea nui te tito hau.
Ētahi atu Tuhipoka: Na te mea karekau e tauhohe ki te nuinga o nga rawa, ka whakamahia ano te argon mo te pupuhi, e awhina ana ki te whakatakoto kiriata whakarewa, kiriata dielectric ranei me mau tonu nga papa kia kore e poke.

Helium (He):
Tūnga: He mea utu nui mo te whakamatao me te pupuri i te riterite o te pāmahana i roto i nga mahi whakahohenga.
Ētahi atu Tuhipoka: He maha nga wa e whakamahia ana i roto i nga punaha laser kaha-nui mo te lithography na tona ahuatanga kore-reactive me te kaha ki te pupuri i te ara whatu kia kore e poke.

Hauwai (H₂):
Te Mahi: I tua atu i tana tono mo te whakaene, ka awhina ano te hauwai ki te horoi i te mata o te angiangi, ka uru ki nga tauhohenga matū i te wa epitaxy.
Ētahi atu Tuhipoka: Ma te whakamahi i te hauwai i roto i te waipara o nga kiriata angiangi ka taea te whakahaere nui ake i te kukū kawe i roto i nga rauemi semiconductor, me te whakarereke i o raatau taonga hiko.

Nga hau motuhake me te Dopants

Hirini (SiH₄):
Tūnga: I tua atu i te mea he kawainga mo te whakangao silicon, ka taea te polymerized te silane ki te kiriata haere hei whakapai ake i nga ahuatanga hiko.
Ētahi atu Tuhipoka: Ko tana hohenga me tupato te whakahaere na runga i nga awangawanga haumaru, ina koa ka konatunatua ki te hau, ki te hāora ranei.

Hamoni (NH₃):
Te Mahi: I tua atu i te hanga kiriata nitride, he mea nui te haukini ki te whakaputa i nga paparanga passivation hei whakarei ake i te pono o nga taputapu semiconductor.
Ētahi atu Tuhipoka: Ka taea te whakauru ki nga tukanga e hiahia ana kia whakauruhia te hauota ki roto i te silicon, te whakapai ake i nga taonga hiko.

Phosphine (PH₃), Arsine (AsH₃), me Diborane (B₂H₆):
Te Mahi: Ko enei hau he mea nui mo te doping engari he mea nui ano hoki mo te whakatutuki i nga taonga hiko e hiahiatia ana i roto i nga taputapu semiconductor matatau.
Ētahi atu Panui: Ko o ratou paitini me tino kawa haumaru me te aro turuki i nga punaha i roto i nga taiao hanga hei whakaiti i nga aitua.

Te Hao me te Horoi Hau

Waowhao (CF₄, SF₆):
Te Mahi: Ko enei hau e whakamahia ana i roto i nga tukanga tarai maroke, he tino tika te whakataurite ki nga tikanga tarai maku.
Ētahi atu Tuhipoka: Ko te CF₄ me te SF₆ he mea nui na te kaha ki te tarai i nga rawa-a-kirika pai, e taea ai te whakatau tauira pai i roto i nga miihini hiko hou.

Chlorine (Cl₂) me Hydrogen Fluoride (HF):
Te Mahi: Ko te maaota e whakarato ana i nga kaha o te tarai, ina koa mo nga konganuku, ko te HF he mea tino nui mo te tango hauhā.
Ētahi atu Tuhipoka: Ma te whakakotahitanga o enei hau ka taea te tango paparanga whai hua i roto i nga momo waahanga hangahanga, me te whakarite kia ma nga papa mo nga mahi tukatuka ka whai ake.

Nitrogen Trifluoride (NF₃):
Te Mahi: Ko te NF₃ he mea nui mo te horoi i te taiao i roto i nga punaha CVD, te whakautu me nga mea poke kia mau tonu te mahi tino pai.
Ētahi atu Panui: Ahakoa nga awangawanga mo tona kaha o te hau kati, na te kaha o te NF₃ ki te horoi ka pai ake te whiriwhiri i roto i nga wheketere maha, ahakoa me whai whakaaro nui ki te taiao.

hāora (O₂):
Tūnga: Ka taea e ngā hātepe hāora e whakahaeretia ana e te hāora te hanga paparanga whakamarumaru tino nui i roto i nga hangahanga hikohiko.
Ētahi atu Tuhipoka: Ko te mahi a te Oxygen ki te whakarei ake i te waikura o te silicon ki te hanga i nga paparanga SiO₂ he mea nui mo te wehe me te tiaki i nga waahanga iahiko.

Nga hau e Puta ana i roto i te Hanga Semiconductor

I tua atu i nga hau tuku iho kua whakarārangitia i runga ake nei, kei te aro atu etahi atu hau ki roto i te mahi hangahanga semiconductor, tae atu ki:

Hauhā (CO₂): Ka whakamahia i roto i etahi tono horoi me te tarai, ina koa ko nga mea e pa ana ki nga rauemi matatau.

Silicon Dioxide (SiO₂): Ahakoa ehara i te hau i raro i nga tikanga paerewa, ka whakamahia nga momo ngongo o te hauhaa hika i roto i etahi tikanga whakaheke.

Nga Whakaaro Taiao

Kei te kaha ake te aro o te umanga semiconductor ki te whakaheke i te paanga o te taiao e pa ana ki te whakamahinga o nga momo hau, inaa ko nga haurehu kati kati. Na tenei i ahu mai te whanaketanga o nga punaha whakahaere hau matatau me te tirotiro i nga hau rereke ka taea te whai hua rite ki te iti o te tapuwae taiao.

Whakamutunga

Ko nga hau e whakamahia ana i roto i te hanga semiconductor he mahi nui ki te whakarite i te tika me te pai o nga mahi hanga. I te ahu whakamua o te hangarau, ka tohe tonu te umanga semiconductor ki te whakapai ake i te maa me te whakahaere hau, me te whakatika i nga awangawanga haumaru me te taiao e pa ana ki a raatau whakamahinga.