Ahumahi Paewhiri

Na te whanaketanga o te hangarau whakaatu papatahi, ka hiahia nga kaihoko ki etahi hau motuhake me nga matauranga ngaio me nga wheako e pa ana. Ko te Huazhong Gas e whakarato ana i nga kaihoko whakaatu papatahi me te maha o nga momo taonga hau motuhake, tae atu ki te doping, te whakaheke kiriata, te tarai me nga tikanga horoi ruma.

Nga hua e taunaki ana mo to umanga

Hirini

Ko te hau hau silane hiko te nuinga e whakamahia ana i roto i te hanga o TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) i roto i te ahumahi panui whakaatu, me te tukunga o nga taputapu TFT, LTPS ranei mo nga LCD.

Hamoni

Ka honoa ki te silane, ka hangaia te paparanga nitride silicon o nga transistors a-Si.

Whakaranu hau

Ko te hanga o nga transistors LTPS me MOS kua piki ake te whakamahinga o te waikura nitrous. Mai i te tirohanga o te kai me te whakamahi i roto i te hanga MO, kua nui ake a N2O i te NF3 kia noho hei taonga hiko tino whakamahia mo te hanga MO.

hauota trifluoride

Ko te NF3 te rauemi hiko e whakamahia nuitia ana i roto i te whakaputanga whakaaturanga a-Si me te LTPS, ka whakamahia te nuinga mo te horoi i nga ruma PECVD.