Te Tono Haukini i roto i te Ahumahi Semiconductor
Hamoni (NH₃), hei reagent matū nui, kua horahia nga tono puta noa i nga momo mara ahumahi, me tana mahi he mea tino nui ki te hanga semiconductor. He mahi nui te haukini i roto i nga wahanga maha o te hanga semiconductor, tae atu ki te tukunga o nga nitrides, te whakaurunga katote me te doping, te horoi, me nga tikanga tarai. Ka rukuhia e tenei tuhinga nga tono o te haukini i roto i te umanga semiconductor, te tātari i tana mahi nui ki te whakarei ake i nga mahi taputapu, te whakaheke i nga utu, me te akiaki i nga mahi auaha, me te korero ano mo nga wero kei mua i a ia me nga ahuatanga whanaketanga a meake nei.
1. Nga Ahuatanga Taketake me te Whanonga matū o te Hamoni
Ko te haukini he puhui i hanga mai i te hauota me te hauwai, e mohiotia ana mo te kaha o te kawakoretanga me te kitea i roto i te hanga tongi hauota ahumahi. Ka noho te haukini hei hau i te pāmahana rūma engari ka taea te rewa i te pāmahana iti, ka waiho hei puna hau tino hohenga. I roto i te ahumahi semiconductor, ko nga ahuatanga matū o te haukini hei waahanga matua o te maha o nga mahi tino nui, ina koa i roto i te whakahekenga kohu matū (CVD), te whakaurunga katote, me nga mahi horoi/whakapapa.
Ka taea e nga ngota ngota haukini te tauhohe ki nga momo konganuku, silicon, me etahi atu rawa hei hanga nitrides, hei dope ranei. Ko enei tauhohenga ehara i te awhina anake ki te hanga i nga rawa kiriata angiangi e hiahiatia ana engari ka whakapai ake i te hiko, te waiariki, me te miihini o nga rawa, na reira ka ahu whakamua te hangarau semiconductor.
2. Nga tono o te Hamoni i roto i te Hanga Semiconductor
He nui te mahi a te haukini i roto i te hanga semiconductor, ina koa ki nga waahanga e whai ake nei:
2.1 Whakatakoto i nga Kiriata Angiangi Nitride
I roto i nga mahi hangahanga semiconductor hou, ko nga kiriata angiangi nitride, penei i te silicon nitride (Si₃N₄), konumohe nitride (AlN), me te titanium nitride (TiN), e whakamahia whanuitia ana hei papa whakamarumaru, paparanga wehe hiko, hei taonga kawe ranei. I te wa o te tukunga o enei kiriata nitride, ka noho te haukini hei puna hauota tino nui.
Ko te whakahekenga kohu matū (CVD) tetahi o nga tikanga tino noa mo te waipara kiriata nitride.Hamonika tauhohe ki nga hau penei i te silane (SiH₄) i te wera nui ki te pirau me te hanga kiriata nitride silicon. Ko te tauhohenga e whai ake nei:
3SiH4+4NH3→Si3N4+12H2
Ko tenei tukanga ka puta he paparanga nitride silicon orite ki runga i te mata angiangi silicon. Ko te haukini he puna hauota pumau, ka taea te whakahaere tika i te tauhohenga me etahi atu puna hau i raro i nga tikanga motuhake, na reira ka whakahaere i te kounga, te matotoru, me te riterite o te kiriata.
Ko nga kiriata Nitride he pai te pumau o te waiariki, te whakamaarama hiko, me te aukati waiora, na te mea he mea nui ki roto i nga mahi hangahanga hiko. E whakamahia nuitia ana i roto i nga iahiko whakauru (ICs) hei papa whakamaarama, paparanga wehe hiko, me nga matapihi whatu i roto i nga taputapu optoelectronic.
2.2 Te Whakanoho Katote me te Doping
Hamoniwhai wāhi nui hoki i roto i te tukanga doping o rauemi semiconductor. Ko te Doping tetahi tikanga nui hei whakahaere i te kawe hiko o nga rawa i roto i te hanga o nga taputapu semiconductor. Ko te haukini, hei puna hauota pai, ka whakamahia tahi me etahi atu hau (pēnei i te phosphine PH₃ me te diborane B₂H₆) ki te whakato hauota ki roto i nga rawa penei i te silicon me te gallium arsenide (GaAs) ma te whakaurunga katote.
Hei tauira, ka taea e te hauota doping te whakatika i nga ahuatanga hiko o te silicon ki te hanga momo-N, momo-P-momo Semiconductors ranei. I roto i nga tukanga hauota doping pai, ka whakaratohia e te haukini he puna hauota tino parakore, me te whakarite kia tika te whakahaere i nga kohinga doping. He mea nui tenei mo te iti me te hanga o nga taputapu mahi teitei i roto i nga mahi whakaurunga tino-nui-nui (VLSI).
2.3 Te horoi me te tarai
Ko nga mahi horoi me te tarai he mea matua ki te whakarite i te kounga o te mata o nga taputapu i roto i te hangahanga semiconductor. Ka whakamahia nuitia te haukini i roto i enei mahi, ina koa ki te tarai plasma me te horoi matū.
I roto i te hangai plasma, ka taea te whakakotahi i te haukini ki etahi atu hau (pēnei i te maota, Cl₂) hei awhina i te tango i nga mea poke waro, nga papa waikura, me nga poke whakarewa mai i te mata angiangi. Hei tauira, ka tauhohe te haukini ki te hāora ki te whakaputa momo hāora tauhohenga (pēnei i te O₃ me te O₂), e pai ana te tango i te waikura o te mata me te whakapumau i te pumau i roto i nga mahi ka whai ake.
I tua atu, ka taea e te haukini te mahi hei whakarewa i roto i nga mahi horoi, hei awhina ki te tango i nga toenga tohu i puta mai i nga tauhohenga matū, i nga mahi kino ranei, na reira ka mau tonu te ma o te angiangi.
3. Nga Painga o te Ammonia i roto i te Ahumahi Semiconductor
He maha nga painga o te Ammonia i roto i te hanga semiconductor, ina koa i nga waahanga e whai ake nei:
3.1 Putake Nitrogen
Ko te haukini he puna hauota pai, parakore hoki e whakarato ana i te tukunga o nga ngota hauota mo te tukunga o nga kiriata nitride me nga tukanga doping. He mea nui tenei mo te hanga o nga taputapu miihini-me te nano-tauine i roto i te hanga semiconductor. I te nuinga o nga wa, he kaha ake te haukini i te hohenga me te mana whakahaere i era atu hau hau puna hauota (pēnei i te hau hauota hauota waikura ranei).
3.2 Mana Tukatuka Tino Pai
Ko te hohenga o te haukini ka taea e ia te whakahaere tika i nga reiti tauhohenga me te matotoru kiriata i roto i nga momo tukanga uaua. Ma te whakatikatika i te rere o te haukini, te pāmahana, me te wa tauhohenga, ka taea te whakahaere tika i te matotoru, te rite, me nga ahuatanga hanganga o nga kiriata, na reira ka pai ake te mahi o nga taputapu.
3.3 Te Utu-Whakatika me te Ataahua Taiao
Ka whakatauritea ki etahi atu hauwaa puna hauota, he iti te utu o te haukini, he nui te kaha o te whakamahi hauota, na te mea ka tino whai hua ki te whakangao semiconductor nui. I tua atu, kei te piki haere nga hangarau hangarua me te whakamahi ano i te haukini, e whai hua ana ki te pai o te taiao.
4. Nga Werohanga Haumaru me te Taiao
Ahakoa tana mahi nui i roto i te hanga semiconductor, ka puta te haukini i nga aitua. I te pāmahana o te rūma, he hau te haukini, a, i roto i te ahua o te wai, he tino pirau, he paitini hoki, me whai tikanga haumaru i te wa e whakamahia ana.
- Rokiroki me te kawe waka: Me penapena te haukini ki nga wera iti me nga pehanga teitei, ma te whakamahi i nga ipu motuhake me nga raina paipa hei aukati i nga turuturu.
- Haumaru Mahi: Ko nga kaiwhakahaere i roto i nga raina whakaputa semiconductor me mau taputapu whakamarumaru, penei i nga mokete, karapu, me nga kanohi hau, kia kore ai e puta te haukini ki te tinana o te tangata.
- Te maimoatanga hau para: Ma te whakamahi i te haukini ka puta he hau para kino, no reira me whakarite nga punaha maimoatanga hau para hei whakarite kia tutuki nga tukunga ki nga paerewa taiao.
I te mea kei te ahu whakamua tonu nga mahi hangahanga semiconductor me te piki haere o te hiahia mo nga mahi taputapu teitei ake, ka tipu haere tonu te mahi a te haukini i roto i te umanga. He tino tika tenei i roto i nga iahiko whakauru nano-tauine teitei, maramara rorohiko ine, me nga hangarau whakakakahu matatau. I tua atu, i te mea ka kaha ake nga ture taiao, ko te whakawhanaketanga o te whakangao kaakaariki me nga hangarau hangarua mo te haukini ka noho hei take nui mo te umanga a meake nei.
Ko nga tono a Ammonia i roto i te ahumahi semiconductor he tino turanga mo te whanaketanga o nga hikohiko hou. Ko tana mahi ki te whakapai ake i te pai o te whakaputa, te whakaheke i nga utu whakangao, me te taraiwa i nga mahi hangarau he mea nui. I te ahu whakamua o te hangarau, ka piki haere tonu te tono a te haukinia, hei awhina i te ahumahi semiconductor ki te tipu ake ki te pai ake me te oranga o te taiao.
Hamoni, hei reagent matū tino nui, ka whai waahi nui ki te hanga semiconductor. He mea tino nui mo te tukunga o nga kiriata nitride, te doping, me nga tikanga horoi/tara. Na te ahu whakamua tonu o te hangarau haukini, ka tipu haere nga tono a te haukini, ka whai koha nui ki te ahu whakamua o te hangarau me te awhina i te tipu o te ahumahi semiconductor ki te huarahi pai ake, me te pai ki te taiao.
