Paneļu nozare

Attīstoties plakano paneļu displeju tehnoloģijai, klientiem ir nepieciešams vairāk īpašu gāzu un ar to saistītās profesionālās zināšanas un pieredze. Huazhong Gas nodrošina plakano displeju klientiem plašu īpašu gāzes materiālu klāstu, tostarp dopinga, plēves nogulsnēšanas, kodināšanas un kameras tīrīšanas procesus.

Ieteicamie produkti jūsu nozarei

Silāns

Elektroniskās kvalitātes silāna gāzi galvenokārt izmanto TFT (plānās plēves tranzistoru)/LCD (šķidro kristālu displeja) ražošanā displeja paneļu nozarē un TFT vai LTPS substrātu uzklāšanai LCD displejiem.

Amonjaks

Apvienojumā ar silānu tas veido a-Si tranzistoru silīcija nitrīda slāni.

Gāzu maisījums

LTPS un MOS tranzistoru ražošana ir palielinājusi slāpekļa oksīda izmantošanu. No patēriņa un izmantošanas viedokļa MO ražošanā N2O ir pārspējis NF3, lai kļūtu par visvairāk izmantoto elektronisko materiālu MO ražošanā.

slāpekļa trifluorīds

NF3 ir visbiežāk izmantotais elektroniskais materiāls a-Si un LTPS displeju ražošanā, un to galvenokārt izmanto PECVD kameru tīrīšanai.