Kam naudojamas volframo heksafluoridas?
Volframo heksafluoridasyra bespalvės, toksiškos ir ėsdinančios dujos, kurių tankis yra apie 13 g/l, o tai apie 11 kartų viršija oro tankį ir vienos tankiausių dujų. Puslaidininkių pramonėje volframo heksafluoridas daugiausia naudojamas cheminio nusodinimo garais (CVD) procese volframo metalui nusodinti. Nusodinta volframo plėvelė gali būti naudojama kaip kiaurymių ir kontaktinių angų sujungimo linija, pasižymi mažu atsparumu ir aukšta lydymosi temperatūra. Volframo heksafluoridas taip pat naudojamas cheminiame ėsdinimo, plazminio ėsdinimo ir kituose procesuose.
Kokios yra tankiausios netoksiškos dujos?
Tankiausios netoksiškos dujos yra argonas (Ar), kurio tankis 1,7845 g/l. Argonas yra inertinės dujos, bespalvės ir bekvapės ir nelengvai reaguoja su kitomis medžiagomis. Argono dujos daugiausia naudojamos apsaugai nuo dujų, metalo suvirinimo, metalo pjovimo, lazerio ir kitose srityse.
Ar volframas stipresnis už titaną?
Volframas ir titanas yra metaliniai elementai, turintys aukštą lydymosi temperatūrą ir stiprumą. Volframo lydymosi temperatūra yra 3422 ° C, o stiprumas yra 500 MPa, o titano lydymosi temperatūra yra 1668 ° C, o stiprumas - 434 MPa. Todėl volframas yra stipresnis už titaną.
Kiek toksiškas yra volframo heksafluoridas?
Volframo heksafluoridasyra labai toksiškos dujos, kurios įkvėptos gali rimtai pakenkti žmogaus organizmui. Volframo heksafluorido LD50 yra 5,6 mg/kg, tai yra, įkvėpus 5,6 mg volframo heksafluorido vienam kilogramui kūno svorio, mirtingumas bus 50 %. Volframo heksafluoridas gali dirginti kvėpavimo takus ir sukelti tokius simptomus kaip kosulys, spaudimas krūtinėje ir dusulys. Sunkūs atvejai gali sukelti plaučių edemą, kvėpavimo nepakankamumą ir net mirtį.
Ar volframas rūdys?
Volframas nerūdys. Volframas yra inertiškas metalas, kuris sunkiai reaguoja su deguonimi ore. Todėl volframas nerūdys esant normaliai temperatūrai.
Ar rūgštis gali korozuoti volframą?
Rūgštys gali korozuoti volframą, bet lėčiau. Stiprios rūgštys, tokios kaip koncentruota sieros rūgštis ir koncentruota druskos rūgštis, gali suėsti volframą, tačiau tai užtrunka ilgai. Silpnos rūgštys, tokios kaip praskiesta sieros rūgštis ir praskiesta druskos rūgštis, turi silpną korozijos poveikį volframui.
Amoniako taikymas puslaidininkių pramonėje
