Stickstofftrifluorid gëtt duerch direkt Fluoréierung vun Ammoniak virbereet. Et kann och duerch Elektrolyse vu geschmoltenem Ammoniumbifluorid oder duerch déi direkt Kombinatioun vun elementarem Stickstoff a Fluor mat enger elektrescher Entladung bei niddregen Temperaturen kritt ginn.
Stickstofftrifluorid ass en exzellente Plasma Ätzgas an der Mikroelektronikindustrie, besonnesch gëeegent fir d'Ätzen vu Silizium a Siliziumnitrid, mat méi héijen Tariffer a Selektivitéit. Stickstofftrifluorid kann als Héichenergie Brennstoff oder als Oxidatiounsmëttel fir Héichenergie Brennstoffer benotzt ginn. Stickstofftrifluorid kann och an héichenergiechemesche Laser als Oxidatiounsmëttel fir Waasserstofffluoridlaser benotzt ginn. An dënnem Filmprozesser fir Hallefleit- an TFT-LCD-Fabrikatioun wierkt Stickstofftrifluorid als "Botzmëttel", awer dëst Botzmëttel ass e Gas, net eng Flëssegkeet. Stickstofftrifluorid ka benotzt ginn fir Tetrafluorhydrazin a Fluorkuelestoffolefin ze fluoréieren.
Noutfall Iwwersiicht: faarweg Gas mat muffe Geroch; Gëfteg, kann d'Verbrennung verursaachen oder verschäerfen; Oxidéierend Agent; Gas ënner Drock, wann erhëtzt kann explodéieren; Laangfristeg oder widderholl Belaaschtung kann Uergelschued verursaachen; schiedlech duerch Inhalatioun. GHS Risiko Kategorien: Oxidéierend Gas -1, Drockgas - Kompriméiert Gas, spezifesch Zilorgansystemtoxizitéit duerch widderholl Kontakt -2, akuter Toxizitéit - Inhalatioun -4. Warnung Wuert: Gefor Gefor Ausso: kann d'Verbrennung verursaachen oder verschäerfen; Oxidéierend Agent; Gas ënner Drock, wann erhëtzt kann explodéieren; Laangfristeg oder widderholl Belaaschtung kann Uergelschued verursaachen; schiedlech duerch Inhalatioun. Virsiichtsmoosnamen: · Präventiv Moossnamen: - D'Bedreiwer musse speziell Ausbildung maachen a strikt un Operatiounsprozeduren halen. - Streng versiegelt fir genuch lokal Auspuff an ëmfaassend Belëftung ze bidden. - Et ass recommandéiert datt d'Bedreiwer perséinlech Schutzausrüstung droen. - Verhënneren Gas Leckage an der Aarbechtsplaz Loft. - Bleift ewech vu Feier an Hëtzt. - Fëmmen ass streng verbueden op der Aarbechtsplaz. - Halt ewech vun brennbaren a brennbare Materialien. - Vermeiden Kontakt mat Reduktiounsmëttelen. - Liicht Luede an Ausluede beim Ëmgank fir Schied un Zylinder an Accessoiren ze vermeiden. - Net an d'Ëmwelt entlaaschten. · Tëschefall Äntwert - Wann inhaléiert, huelt séier vun der Szen an d'frësch Loft. Halt Är Airway kloer. Wann d'Atmung schwéier ass, hei Sauerstoff verwalten. Wann d'Atmung an d'Häerz ophalen, fänkt direkt CPR un. Sich medezinesch Opmierksamkeet. - Leck sammelen. Am Fall vu Feier, d'Loftquell ofschneiden, d'Pompjeeë maachen Gasmasken, a stoe géint de Wand op enger sécherer Distanz fir d'Feier ze läschen. · Sécher Lagerung: - Gelagert an engem coolen, gelüfteten gëftege Gaslager. - D'Temperatur vum Lager soll net méi wéi 30 ℃ sinn. - Sollt getrennt vun einfachen (brennbaren) Substanzen, Reduktiounsmëttelen, essbare Chemikalien, asw., a soll net gemëscht ginn. - D'Lagerberäich soll mat Auslafe Noutbehandlungsausrüstung ausgestatt sinn. · Offallentsuergung: - Entsuergung no den Ufuerderunge vun den zoustännegen nationalen a lokale Gesetzer a Reglementer. Oder kontaktéiert den Hiersteller fir d'Entsuergung Partei ze bestëmmen Dharma. Physikalesch a chemesch Gefore: gëfteg, oxidéierend, kann d'Verbrennung verursaachen oder verschäerfen, schiedlech fir d'Ëmwelt. Betreffend Impakt, Reibung, am Fall vun oppene Feier oder aner Zündquell ass extrem explosiv. Et ass einfach ze entzünden wann Dir a Kontakt mat Brennstoffer sidd. Gesondheetsrisiken:Et irritéiert den Atmungstrakt. Et kann d'Liewer an d'Nieren beaflossen. Widderholl oder laangfristeg Inhalatiounsbeliichtung kann Fluorose verursaachen. Ëmweltgeforen:Schued fir d'Ëmwelt.
Uwendungen
Semiconductor
Solar Photovoltaik
LED
Maschinnen Fabrikatioun
Chemesch Industrie
Medizinesch Behandlung
Iessen
Wëssenschaftlech Fuerschung
Froen déi Dir wësse wëllt iwwer eise Service an Liwwerzäit