Аммиания (NH₃), Маанилүү химиялык реагент катары ар кандай өнөр жай талааларына кеңири колдонмолорго ээ, анын милдети өзгөчө жарым өткөргүч өндүрүшүндө өзгөчө мааниге ээ. Аммония жарым өткөргүч өндүрүшүнүн бир нече баскычтарында, анын ичинде нитриддердин, ион имплантациясын жана допинг, тазалоо жана жугуштуу процесстердин бир нече баскычтарында маанилүү ролду ойнойт. Бул макалада ал түзмөктүн ишин жогорулатуу, чыгымдарды азайтууда, анын өнүгүүсүнүн жана келечектеги өнүгүү тенденцияларын талкуулап жатканда, анын өсүмдүктөрүн жана айдоо өнөр жайынын инновацияларын азайтууда анын иш-аракеттерин талдап, аммония колдонмолорун талдайт.

1. Аммиактын негизги касиеттери жана химиялык жүрүм-туруму

Аммиак - бул азот жана суутектин курамына, анын күчтүү жигердүүлүгү менен белгилүү болгон жана өнөр жай азот жеринде жер семирткич өндүрүшүндө кездешет. Аммония бөлмөнүн температурасында газ катары бар, бирок төмөн температурада суюлтулган, аны өтө реактивдүү газ булагына айлантат. Семикостюстор индустриясында Аммиондун химиялык касиеттери, айрыкча химиялык дөбөдө (CVD), ион имплантация жана тазалоо / жугуштуу операцияларды жүргүзүү үчүн бир нече сынчылдын негизги компоненти болуп саналат.

Аммиак молекулалары нитриддерди түзө турган же аларды жоготуу үчүн ар кандай металлдар, кремний жана башка материалдар менен реакцияга кабылышы мүмкүн. Бул реакциялар каалаган жука кинолорду түзүүгө гана эмес, материалдардын электр, жылуулук жана механикалык касиеттерин өркүндөтүүгө, ошентип, жарым өткөргүч технологиясын жайылтууда.

2 Ammidia компаниясынын жарым өткөргүч өндүрүшүнө арыздар

Аммиак, айрыкча төмөнкү багыттар боюнча:

2.1 Нитриддин жука фильмдерин жайгаштыруу

Заманбап жарым өткөргүч мышьяк мезгилинде силикон нитрицид (Si₃n₄), алюминий нитрицид (Алюминий нитрицид), алюминий нитрицид (Алюминий нитрицид), титан нитрицид (калай), электр изоляциялык катмарлары, электр изоляциялык катмарлары же өткөрүлүүчү материалдар катары кеңири колдонулат. Бул нитриддик фильмдерди жайгаштыруу учурунда аммиак азот азот булагы болуп кызмат кылат.

Химиялык буу чөкмө (CVD) - бул Nitride Film Deponition үчүн эң көп таралган ыкмаларынын бири. Аммиак Силан (Силан) сыяктуу газдар менен реакцияга реакция кылат (Силикон нитрициддик фильмдерди). Реакция төмөнкүлөр:

3Sih4 + 4NH3 → SI3N4 + 12h2

Бул процесс кремний вафли үстүндө бирдиктүү кремний нитрицид катмарынын пайда болушуна алып келет. Аммония туруктуу азот булагына карайт жана белгилүү бир шарттарда башка газ булактары менен реакцияны так көзөмөлдөп, ал эми тасманын сапатын, калыңдыгын жана бир түрдүүлүгүн контролдойт.

Нитриддик фильмдер мыкты жылуулук туруктуулугу, электр изоляциясы жана кычкылдануу жана кычкылдануу каршылык көрсөтүп, аларды жарым өткөргүч өндүрүшүндө өтө маанилүү кылат. Алар интегралдык схемада (INS) жылуулоо катарлары, электрод изоляция катмарлары жана optoelectronic шаймандардагы оптикалык терезелер катары кеңири колдонулат.

2.2 Ион имплантациясы жана Допинг

Аммиак жарым өткөргүч материалдарынын допинг процесси боюнча маанилүү ролду ойнойт. Допинг - бул жарым өткөргүч түзмөктөрүнүн материалдардын электр өткөрүмдүүлүгүн көзөмөлдөө үчүн колдонулган маанилүү техникасы. Аммиак, натыйжалуу азотко булагы катары, көбүнчө башка газдар менен биргеликте (мисалы, фосфиндик китептик жана дииборан) ион импланги сыяктуу материалдарга (Гаас) ион импланги сыяктуу материалдар менен биргеликте колдонулат.

Мисалы, азоттун долону N-Type же P-типтин жарым өткөргүчтөрдү түзүү үчүн кремнийдин электр касиеттерин жөнгө салат. Нитрогендик проект процесстеринин натыйжалуу процесстеринде Аммиак Допинг концентрациясынын үстүнөн так көзөмөлдү камтыган жогорку тазалыктын азот булагын камсыз кылат. Бул миниатюралоо жана жогорку деңгээлдеги интеграция (VLSI) өндүрүштүк интеграцияланган жогорку деңгээлдеги түзмөктөрдү өндүрүү үчүн маанилүү.

2.3 Тазалоо жана жоо

Тазалоо жана жугуштуу процесстер Жарым өткөргүч өнөктөштүгүндөгү түзмөктөрдүн сапатын камсыз кылуу үчүн ачкыч. Аммиак бул процесстерде, айрыкча, плазма беттерде жана химиялык тазалоодо кеңири колдонулат.

Плазма беттерде, аммиак башка газдар менен биригиши мүмкүн (мисалы, хлор, cl₂) менен бирдиктүү булгоочу заттарды, оксид катмарларын жана металл катмарларын жана темир жолдун бетинен. Мисалы, Аммония кычкылтек менен реактивдүү кычкылтек түрлөрүн (O₃ жана o₂ сыяктуу) натыйжалуу алып салуу жана андан кийинки процесстерде туруктуулукту камсыз кылат.

Мындан тышкары, аммиак, тазалоо процесстеринде эриткичтер катары иштей алат, химиялык реакциялардан же жаңылыштыктын кесепетинен, вафлидин жогорку тазалыгын сактоого жардам берет.

3. Аммианиянын Жарым өткөргүч өнөр жайындагы артыкчылыктар

Аммиак, айрыкча төмөнкү багыттар боюнча бир нече артыкчылыктарды сунуш кылат:

3.1 Нитроген булагы

Аммиак - бул нитридеги фильмдерин жана Допинг процесстерин жайгаштыруу үчүн азот атомдорун туруктуу жана так жеткирүүнү камсыз кылган натыйжалуу жана таза нитроген булагы. Жарым өткөргүч өндүрүшүндө микрока жана нано масштабдагы түзмөктөрдү жасалгалоо үчүн маанилүү. Көпчүлүк учурларда, Аммиак башка азот булагына караганда реактивдүү жана контролго алынат (мисалы азот газы же азот күлкү сыяктуу).

3.2 Мыкты процесстерди башкаруу

Аммиактын реактивдүүлүгү ага ар кандай татаал процесстерде калыңдыкты так көзөмөлдөөнү жана калыңдыкты так көзөмөлдөөгө мүмкүнчүлүк берет. Аммиактын агымынын, температуранын жана реакция убактысын жөндөө менен, тасманын калыңдыгын, бир түрдүүлүгүн, бир түрдүүлүгүн жана структуралык мүнөздөмөлөрүн так көзөмөлдөп, түзмөктөрдүн аткарылышын оптималдаштырууну так көзөмөлдөп турууга болот.

3.3 Чыгымдардын натыйжалуулугу жана экологиялык достук

Башка азот булагына салыштырмалуу аммиак салыштырмалуу төмөн, бул салыштырмалуу төмөн, бул азотту пайдалануунун натыйжалуулугу жогору, ал жогорку деңгээлдеги жарым-жартылай өндүрүштү өтө пайдалуу деп эсептейт. Андан тышкары, Аммониядан кайра иштетүү жана технологияларды кайра иштетүү, экологиялык достук мамилелерине өз салымын кошуп, өркүндөтүлүп жатат.

4. Коопсуздук жана экологиялык көйгөйлөр

Семиконттор өндүрүүсүндө олуттуу ролду аткарууга карабастан, Аммиак коркунучтар мүмкүн. Бөлмө температурасында Аммиак - бул газ, анын суюктук формасы, ал колдонулуп жаткан коопсуздук чараларын талап кылган өтө дат басуучу жана уулуу.

1. Сактоо жана транспорт: Аммиак суу агып кетишине жол бербөө үчүн адистештирилген контейнерлерди жана түтүктөрдү колдонуп, төмөн температурада жана жогорку басымдарды азайтуу керек.
2. Операциялык коопсуздукТемирдор өндүрүү линиясындагы операторлор аммониянын адам денесине таасирин алдын алуу үчүн, көз айнек, кол кап, мээлей жана газ маскалар сыяктуу коргоочу жабдууларды кийүү керек.
3. Таштандыларды тазалоо: Аммиак колдонуу зыяндуу газдардан зыяндуу газдардан пайда болушу мүмкүн, андыктан таштандыларды эффективдүү тазалоо тутумдары чыгаруучу экологиялык стандарттарга жооп бергендигин камсыз кылуу үчүн ордунда болушу керек.

Жарым өткөргүчү өндүрүштүк өндүрүш процесстери өркүндөтүлүп, жогорку аппараттын жогорку деңгээлине суроо-талаптын жогорулашына, Аммиаканын тармактагы ролу өсө берет. Бул, айрыкча, Нано масштабдагы интегралдык схемалар, кванттык эсептөөчү чиптер, кванттык эсептөө технологияларын өркүндөтөт. Мындан тышкары, экологиялык эрежелер бузулуп, жашыл өндүрүшүн өнүктүрүү жана аммиак үчүн иштетүү технологиясын иштеп чыгуу өнөр жайдын келечегиндеги кризистик болуп калат.

Жарым өткөрүүчү өнөр жайындагы Аммониянын арыздары заманбап электрониканы өнүктүрүүгө бекем негиз берет. Өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатууда анын ролу, өндүрүш чыгымдарын азайтуу жана айдоо технологиялык инновациялык инновациясы алмашылбайт. Технологияны сунуштагандай, Аммиаканын арызы катары, семикостор өнөр жайына көбүрөөк натыйжалуулукка жана экологиялык туруктуулукка карай өнүгүүгө жардам берет.

Аммиак, химиялык реагент катары, жарым өткөргүч өндүрүшүндө негизги ролду ойнойт. Нитрицид фильмдерин, допингди жана тазалоо / жугуштуу процесстерди жайгаштыруу үчүн өтө маанилүү. Технологиялык ийгиликтерге жана динамиканын аймагына олуттуу салым кошууга жана жарым өткөргүч өнөр жайына жардам берүү үчүн, аммиак өтүнмөлөрүн улантып, өзүлөрүнүн жарактарына олуттуу салым кошууга жана өнүккөндөрдүн натыйжалуу жана экологиялык жактан эволюцияланган.