육불화텅스텐은 무엇을 위해 사용됩니까?

2023-09-04

육불화텅스텐은 무엇을 위해 사용됩니까?

육불화텅스텐무색의 유독성 부식성 가스로 밀도는 약 13g/L로 공기 밀도의 약 11배이며 가장 밀도가 높은 가스 중 하나입니다. 반도체 산업에서 텅스텐 육불화물은 주로 텅스텐 금속을 증착하기 위한 화학 기상 증착(CVD) 공정에 사용됩니다. 증착된 텅스텐막은 스루홀과 콘택트홀의 상호 연결 라인으로 사용될 수 있으며, 낮은 저항과 높은 융점의 특성을 가지고 있습니다. 육불화텅스텐은 화학적 에칭, 플라즈마 에칭 및 기타 공정에도 사용됩니다.

밀도가 가장 높은 무독성 가스는 무엇입니까?

가장 밀도가 높은 무독성 가스는 밀도가 1.7845g/L인 아르곤(Ar)입니다. 아르곤은 무색, 무취의 불활성 기체로 다른 물질과 쉽게 반응하지 않습니다. 아르곤 가스는 주로 가스 보호, 금속 용접, 금속 절단, 레이저 및 기타 분야에 사용됩니다.

텅스텐이 티타늄보다 강한가요?

텅스텐과 티타늄은 모두 녹는점과 강도가 높은 금속 원소입니다. 텅스텐의 융점은 3422°C이고 강도는 500MPa이며, 티타늄의 융점은 1668°C이며 강도는 434MPa입니다. 따라서 텅스텐은 티타늄보다 강합니다.

육불화텅스텐은 얼마나 독성이 있나요?

육불화텅스텐흡입하면 인체에 심각한 손상을 일으킬 수 있는 독성이 강한 가스입니다. 육불화텅스텐의 LD50은 5.6mg/kg입니다. 즉, 체중 1kg당 육불화텅스텐 5.6mg을 흡입하면 사망률이 50%가 됩니다. 육불화텅스텐은 호흡기관을 자극하여 기침, 가슴 답답함, 호흡곤란 등의 증상을 유발할 수 있습니다. 심한 경우 폐부종, 호흡 부전, 심지어 사망에 이를 수도 있습니다.

텅스텐이 녹슬까요?

텅스텐은 녹슬지 않습니다. 텅스텐은 공기 중의 산소와 쉽게 반응하지 않는 불활성 금속입니다. 따라서 텅스텐은 상온에서 녹슬지 않습니다.

산이 텅스텐을 부식시킬 수 있나요?

산은 텅스텐을 부식시킬 수 있지만 그 속도는 느립니다. 진한 황산, 진한 염산 등의 강산은 텅스텐을 부식시킬 수 있지만 시간이 오래 걸립니다. 묽은 황산, 묽은 염산과 같은 약산은 텅스텐에 약한 부식 효과를 나타냅니다.