불화텅스텐 가스는 정류 분리 기술을 포함한 정제 기술을 거쳐 저비점 물질을 제거한 후 고비점 물질을 제거한 후 흡착제가 장착된 흡착탑에 들어가 흡착 후 고순도의 육불화텅스텐 가스를 얻습니다.