평판 디스플레이 기술의 발전으로 고객은 더욱 특수한 가스와 관련 전문 지식과 경험을 필요로 하고 있습니다. Huazhong Gas는 평판 디스플레이 고객에게 도핑, 필름 증착, 에칭 및 챔버 세척 공정을 포함한 다양한 특수 가스 재료를 제공합니다.
전자등급 실란가스는 주로 디스플레이 패널 산업의 TFT(박막 트랜지스터)/LCD(액정 디스플레이) 생산과 LCD용 TFT 또는 LTPS 기판 증착에 사용됩니다.
실란과 결합하여 a-Si 트랜지스터의 질화규소 층을 형성합니다.
LTPS 및 MOS 트랜지스터 생산으로 인해 아산화질소의 사용이 증가했습니다. MO 생산에서의 소비 및 사용 관점에서 볼 때, N2O는 NF3를 능가하여 MO 생산에서 가장 많이 사용되는 전자 재료가 되었습니다.
NF3는 a-Si 및 LTPS 디스플레이 생산에 가장 일반적으로 사용되는 전자 재료이며 주로 PECVD 챔버 세척에 사용됩니다.