តើស៊ីលីនត្រូវបានផលិតយ៉ាងដូចម្តេច?
(1) វិធីសាស្ត្រម៉ាញ៉េស្យូមស៊ីលីកុន៖ ប្រតិកម្មម្សៅលាយស៊ីលីកុន និងម៉ាញេស្យូមក្នុងអ៊ីដ្រូសែននៅសីតុណ្ហភាពប្រហែល 500 អង្សារសេ ហើយធ្វើប្រតិកម្មជាមួយម៉ាញ៉េស្យូមស៊ីលីកុនដែលបានបង្កើតជាមួយនឹងក្លរួអាម៉ូញ៉ូមក្នុងអាម៉ូញាក់រាវសីតុណ្ហភាពទាប ដើម្បីទទួលបានស៊ីលីន។ ការបន្សុតវានៅក្នុងឧបករណ៍ចម្រោះដែលត្រជាក់ជាមួយអាសូតរាវ ផ្តល់ផលស៊ីលីនសុទ្ធ។
(2) វិធីសាស្ត្រប្រតិកម្មខុសធម្មតា៖ ប្រតិកម្មម្សៅស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុនតេត្រាក្លរីត និងអ៊ីដ្រូសែននៅក្នុងចង្រ្កានគ្រែដែលមានវត្ថុរាវដែលមានកំដៅលើសពី 500 អង្សារសេ ដើម្បីទទួលបានទ្រីក្លូរ៉ូស៊ីឡែន។ Trichlorosilane ត្រូវបានបំបែកដោយការចំហុយ។ Dichlorosilane ត្រូវបានទទួលដោយប្រតិកម្មចម្រុះនៅក្នុងវត្តមាននៃកាតាលីករមួយ។ dichlorosilane ដែលទទួលបានគឺជាល្បាយជាមួយ silicon tetrachloride និង trichlorosilane ដូច្នេះ dichlorosilane សុទ្ធអាចទទួលបានបន្ទាប់ពីការចម្រាញ់។ Trichlorosilane និង monosilane ត្រូវបានទទួលពី dichlorosilane ដោយប្រើកាតាលីករប្រតិកម្មខុសគ្នា។ monosilane ដែលទទួលបានត្រូវបានបន្សុតដោយឧបករណ៍ចម្រោះសម្ពាធខ្ពស់ដែលមានសីតុណ្ហភាពទាប។
(3) ព្យាបាលយ៉ាន់ស្ព័រស៊ីលីកុន-ម៉ាញេស្យូមជាមួយនឹងអាស៊ីត hydrochloric ។
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) យ៉ាន់ស្ព័រស៊ីលីកុន-ម៉ាញ៉េស្យូមមានប្រតិកម្មជាមួយអាម៉ូញ៉ូម ប្រូមីត ក្នុងអាម៉ូញាក់រាវ។
(5) ការប្រើប្រាស់ lithium aluminium hydride, lithium borohydride ជាដើម ជាភ្នាក់ងារកាត់បន្ថយ កាត់បន្ថយ tetrachlorosilane ឬ trichlorosilane ក្នុង ether ។
2. តើអ្វីជាសម្ភារៈចាប់ផ្តើមសម្រាប់ស៊ីលីន?
វត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ការរៀបចំស៊ីលីនភាគច្រើនជាម្សៅស៊ីលីកូន និងអ៊ីដ្រូសែន។ តម្រូវការភាពបរិសុទ្ធនៃម្សៅស៊ីលីកុនគឺខ្ពស់គួរសម ជាទូទៅឈានដល់ជាង 99.999%។ អ៊ីដ្រូសែនក៏ត្រូវបានចម្រាញ់ផងដែរ ដើម្បីធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នៃស៊ីលីនដែលបានរៀបចំ។
3. តើស៊ីលីនមានមុខងារអ្វី?
ក្នុងនាមជាប្រភពឧស្ម័នដែលផ្តល់នូវសមាសធាតុស៊ីលីកុន ស៊ីលីនអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីផលិតស៊ីលីកុន polycrystalline ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយ ស៊ីលីកុនមីក្រូគ្រីស្តាល់ ស៊ីលីកុនអាម៉ូហ្វ ស៊ីលីកុននីត្រាត ស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ ស៊ីលីកុនចម្រុះ និងស៊ីលីកុនលោហៈផ្សេងៗ។ ដោយសារតែភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងការគ្រប់គ្រងដ៏ល្អរបស់វា វាបានក្លាយជាឧស្ម័នពិសេសដ៏សំខាន់ដែលមិនអាចជំនួសបានដោយប្រភពស៊ីលីកុនជាច្រើនទៀត។ Silane ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច និងអុបតូអេឡិចត្រូនិច ហើយត្រូវបានគេប្រើក្នុងការផលិតកោសិកាថាមពលព្រះអាទិត្យ អេក្រង់រាបស្មើ កញ្ចក់ និងដែកស្រោប ហើយជាផលិតផលកម្រិតមធ្យមតែមួយគត់ក្នុងពិភពលោកសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំនៃស៊ីលីកុនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ កម្មវិធីបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់នៃ silane នៅតែលេចឡើង រួមទាំងការប្រើប្រាស់នៅក្នុងការផលិតនៃសេរ៉ាមិចកម្រិតខ្ពស់ សមា្ភារៈសមាសធាតុ សម្ភារៈមុខងារ ជីវសម្ភារៈ វត្ថុធាតុដើមដែលមានថាមពលខ្ពស់ ។ល។ ហើយក្លាយជាមូលដ្ឋាននៃបច្ចេកវិទ្យាថ្មីៗ សម្ភារៈថ្មីៗ និង ឧបករណ៍ថ្មី។
4. តើស៊ីលីនមិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថានទេ?
បាទ/ចាស ភ្នាក់ងារព្យាបាលស៊ីលីនមិនមានអ៊ីយ៉ុងដែកធ្ងន់ និងសារធាតុបំពុលផ្សេងទៀតទេ ហើយវាអនុលោមតាមស្តង់ដារការពារបរិស្ថាន ROHS និង SGS ។
5. ការអនុវត្តសុីលីន
រចនាសម្ព័ន្ធគ្រោងឆ្អឹងនៃ chlorosilanes និង alkyl chlorosilanes, ការលូតលាស់ epitaxial នៃស៊ីលីកូន, វត្ថុធាតុដើមនៃ polysilicon, silicon oxide, silicon nitride ជាដើម កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ សរសៃអុបទិក ការផលិតកញ្ចក់ពណ៌ ការទម្លាក់ចំហាយគីមី។
