Вольфрам фториді газы төмен қайнайтын заттарды алып тастау, содан кейін жоғары қайнау заттарды алып тастау, содан кейін адсорбенттермен жабдықталған адсорбциялық мұнараға кіру және адсорбциядан кейін жоғары тазалықтағы вольфрам гексафториді газын алу үшін тазарту технологиясын, соның ішінде ректификациялық бөлу технологиясын өтеді.