Қаптаманың басқа спецификациялары тұтынушы талаптарына сәйкес берілуі мүмкін
Фосфоан аралас газ
| Тазалық немесе сан | тасымалдаушы | көлемі |
| 99,999%/99,9999% | цилиндр | 47л |
Фосфоан аралас газ
Фосфин жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде маңызды n-типті қоспалау көзі болып табылады. Ол сондай-ақ полисилиций химиялық буының тұндыруында, эпитаксиалды GaP материалдарында, иондарды имплантациялау процесінде, MOCVD процесінде және фосфосиликат әйнегінің (PSG) пассивациялық пленкасын дайындауда қолданылады.
Қолданбалар
Жартылай өткізгіш
Күн фотоэлектрлік
Жарық диодты индикатор
Машина жасау
Химия өнеркәсібі
Медициналық емдеу
Тамақ
Ғылыми зерттеулер
