集積回路・半導体のお客様に、拡散、リソグラフィー、蒸着、エッチング、ドーピング、クリーニングなどのプロセスに必要な各種特殊ガスを提供しています。
工業的なエッチングプロセスでは、電子ガスとエッチング対象物との化学反応が必要となります。ウェーハ製造のエッチング工程では、方向性エッチングの目的を達成するために、電子特異性ガスを使用してエッチング部分を除去する必要があります。
半導体産業では、シランは主に高純度ポリシリコン、二酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、ポリシリコン分離層などの製造に使用されており、太陽電池、光ファイバー、光電センサーなどの製造にも使用できます。
電子ガスとして、亜酸化窒素は主に半導体光電子デバイスの開発および製造のための誘電体薄膜プロセスで使用されます。光電子デバイスの品質に直接影響を与える、かけがえのないキーコンセプトガスです。
