シランはシリコンと水素の化合物で、モノシラン (SiH4)、ジシラン (Si2H6)、およびいくつかの高次シリコン水素化合物が含まれます。中でもモノシランが最も一般的であり、モノシランを単にシランと呼ぶこともある。シランは無色の空気反応性の窒息性ガスです。