三フッ化窒素の化学式は NF3 です。無色、無臭で、室温では安定な気体です。強力な酸化剤です。高純度の三フッ化窒素は、優れたエッチング速度と選択性を備えており、非常に優れた洗浄剤でもあります。 Huazhong は、半導体プロセスを改善するための高純度の三フッ化窒素ガスを提供します。