液体アルゴン

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液体アルゴン

アルゴンは、ガスクロマトグラフィーで最も一般的なキャリアガスの 1 つです。アルゴンは、スパッタリング、プラズマエッチング、イオン注入のキャリアガスとして、また結晶成長のシールドガスとして使用されます。

純度または量	キャリア	音量
99.999%	タンカー	22.6m3

液体アルゴン

最も一般的なアルゴンの供給源は空気分離プラントです。空気には約0.93% (体積) アルゴン。最大 5% の酸素を含む粗アルゴン流は、一次空気分離塔から二次 (「サイドアーム」) 塔を通って除去されます。粗アルゴンはさらに精製されて、必要なさまざまな商用グレードが生成されます。アルゴンは、一部のアンモニアプラントのオフガス流からも回収できます。