アルゴン

お客様のご要望に応じて、その他の仕様のパッケージも提供可能です

「アルゴンは、ガスクロマトグラフィーで最も一般的なキャリアガスの 1 つです。アルゴンは、スパッタリング、プラズマエッチング、イオン注入のキャリアガスとして、また結晶成長のシールドガスとして使用されます。

純度または量	キャリア	音量
99.999%/99.9999%	シリンダー	40Lまたは47L

アルゴン

最も一般的なアルゴンの供給源は空気分離プラントです。空気には約0.93% (体積) アルゴン。最大 5% の酸素を含む粗アルゴン流は、一次空気分離塔から二次 (「サイドアーム」) 塔を通って除去されます。粗アルゴンはさらに精製されて、必要なさまざまな商用グレードが生成されます。アルゴンは、一部のアンモニアプラントのオフガス流からも回収できます。