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アルゴン

「アルゴンは、ガスクロマトグラフィーで最も一般的なキャリアガスの 1 つです。アルゴンは、スパッタリング、プラズマエッチング、イオン注入ではキャリアガスとして、また結晶成長ではシールドガスとして使用されます。」

純度または量 キャリア 音量
99.99% シリンダー 40L

アルゴン

最も一般的なアルゴンの供給源は空気分離プラントです。空気には約0.93% (体積) アルゴン。最大 5% の酸素を含む粗アルゴン流は、一次空気分離塔から二次 (「サイドアーム」) 塔を通って除去されます。粗アルゴンはさらに精製されて、必要なさまざまな商用グレードが生成されます。アルゴンは、一部のアンモニアプラントのオフガス流からも回収できます。

アプリケーション

半導体
太陽光発電
導かれた
機械製造業
化学工業
医療
食べ物
科学研究

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