お客様のご要望に応じて、その他の仕様のパッケージも提供可能です














アルゴン
「アルゴンは、ガスクロマトグラフィーで最も一般的なキャリアガスの 1 つです。アルゴンは、スパッタリング、プラズマエッチング、イオン注入ではキャリアガスとして、また結晶成長ではシールドガスとして使用されます。」
純度または量 | キャリア | 音量 |
99.99% | シリンダー | 40L |
アルゴン
最も一般的なアルゴン源は空気分離プラントです。空気には約0.93% (体積) アルゴン。最大 5% の酸素を含む粗アルゴン流は、一次空気分離塔から二次 (「サイドアーム」) 塔を通して除去されます。粗アルゴンはさらに精製されて、必要なさまざまな商用グレードが生成されます。アルゴンは、一部のアンモニアプラントのオフガス流からも回収できます。
アプリケーション

半導体

太陽光発電

導かれた

機械製造業

化学工業

医療

食べ物

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