フラットパネルディスプレイ技術の発展に伴い、顧客はより多くの特殊ガスや関連する専門知識と経験を必要としています。 Huazhong Gas は、フラット パネル ディスプレイの顧客に、ドーピング、成膜、エッチング、チャンバー クリーニング プロセス アプリケーションを含む、さまざまな特殊ガス材料を提供しています。
電子グレードのシランガスは、主にディスプレイパネル産業における TFT (薄膜トランジスタ)/LCD (液晶ディスプレイ) の製造、および LCD 用の TFT または LTPS 基板の蒸着に使用されます。
シランと組み合わせると、a-Si トランジスタの窒化シリコン層が形成されます。
LTPS および MOS トランジスタの生産により、亜酸化窒素の使用が増加しました。 MO 生産における消費と使用の観点から見ると、N2O は NF3 を上回り、MO 生産で最も使用される電子材料となっています。
NF3 は、a-Si および LTPS ディスプレイの製造で最も一般的に使用される電子材料であり、主に PECVD チャンバーのクリーニングに使用されます。