(1) שיטת מגנזיום סיליקיד: הגיב את האבקה המעורבת של סיליקון ומגנזיום במימן בערך 500 מעלות צלזיוס, והגיב את סיליקיד המגנזיום שנוצר עם אמוניום כלוריד באמוניה נוזלית בטמפרטורה נמוכה כדי לקבל סילאן. טיהור שלו במנגנון זיקוק מקורר בחנקן נוזלי מניב סילאן טהור.
(2) שיטת תגובה הטרוגנית: הגיב אבקת סיליקון, סיליקון טטרכלוריד ומימן בתנור מיטה נוזלית שחומם מעל 500 מעלות צלזיוס לקבלת טריכלורוסילאן. טריכלורוסילאן מופרד על ידי זיקוק. Dichlorosilane מתקבל על ידי תגובה הטרוגנית בנוכחות זרז. הדיכלורוסילאן המתקבל הוא תערובת עם סיליקון טטרכלוריד וטריכלורוסילאן, כך שניתן לקבל דיכלורוסילאן טהור לאחר זיקוק. טריכלורוסילאן ומונוסילאן מתקבלים מדיכלורוסילאן באמצעות זרז תגובה הטרוגני. המונוסילאן המתקבל מטוהר על ידי מכשיר זיקוק בלחץ גבוה בטמפרטורה נמוכה.
(3) טפל בסגסוגת הסיליקון-מגנזיום בחומצה הידרוכלורית.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) סגסוגת סיליקון-מגנזיום מגיבה עם אמוניום ברומיד באמוניה נוזלית.
(5) שימוש בליתיום אלומיניום הידריד, ליתיום בורוהידריד וכו' כחומרים מפחיתים, להפחית טטרכלורוסילאן או טריכלורוסילאן באתר.