Il gas fluoruro di tungsteno viene sottoposto a una tecnologia di purificazione, inclusa la tecnologia di separazione della rettifica, per rimuovere sostanze bassobollenti, quindi rimuovere sostanze altobollenti, quindi entrare nella torre di adsorbimento dotata di adsorbenti e ottenere gas esafluoruro di tungsteno ad elevata purezza dopo l'adsorbimento.