Panel iðnaður

Með þróun flatskjátækni þurfa viðskiptavinir fleiri sérstakar lofttegundir og tengda faglega þekkingu og reynslu. Huazhong Gas veitir viðskiptavinum flatskjáskjáa fjölbreytt úrval af sérstökum gasefnum, þar á meðal lyfjanotkun, filmuútfellingu, ætingu og hólfahreinsunarferli.

Vörur sem mælt er með fyrir iðnaðinn þinn

Silane

Rafrænt sílangas er aðallega notað við framleiðslu á TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) í skjáborðsiðnaðinum og útfellingu á TFT eða LTPS hvarfefni fyrir LCD skjái.

Ammoníak

Samsett með silani myndar það kísilnítríðlag a-Si smára.

Gasblanda

Framleiðsla LTPS og MOS smára hefur aukið notkun nituroxíðs. Frá sjónarhóli neyslu og notkunar í MO framleiðslu hefur N2O farið fram úr NF3 til að verða mest notaða rafeindaefnið í MO framleiðslu.

köfnunarefnistríflúoríð

NF3 er algengasta rafeindaefnið í a-Si og LTPS skjáframleiðslu og er aðallega notað til að hreinsa PECVD hólf.