Untuk apa tungsten heksafluorida digunakan?

04-09-2023

Untuk apa tungsten heksafluorida digunakan?

Tungsten heksafluoridaadalah gas tidak berwarna, beracun dan korosif dengan kepadatan sekitar 13 g/L, yaitu sekitar 11 kali kepadatan udara dan salah satu gas terpadat. Dalam industri semikonduktor, tungsten heksafluorida terutama digunakan dalam proses deposisi uap kimia (CVD) untuk menyimpan logam tungsten. Film tungsten yang diendapkan dapat digunakan sebagai jalur interkoneksi melalui lubang dan lubang kontak, serta memiliki karakteristik resistansi rendah dan titik leleh tinggi. Tungsten heksafluorida juga digunakan dalam etsa kimia, etsa plasma, dan proses lainnya.

Apa gas tidak beracun yang paling padat?

Gas tidak beracun yang paling padat adalah argon (Ar) dengan massa jenis 1,7845 g/L. Argon merupakan gas inert, tidak berwarna dan tidak berbau, serta tidak mudah bereaksi dengan zat lain. Gas argon terutama digunakan dalam proteksi gas, pengelasan logam, pemotongan logam, laser dan bidang lainnya.

Apakah tungsten lebih kuat dari titanium?

Tungsten dan titanium keduanya merupakan elemen logam dengan titik leleh dan kekuatan tinggi. Titik leleh tungsten 3422°C dan kekuatan 500 MPa, sedangkan titik leleh titanium 1668°C dan kekuatan 434 MPa. Oleh karena itu, tungsten lebih kuat dari titanium.

Seberapa beracunkah tungsten heksafluorida?

Tungsten heksafluoridaadalah gas yang sangat beracun yang dapat menyebabkan kerusakan serius pada tubuh manusia jika terhirup. LD50 tungsten heksafluorida adalah 5,6 mg/kg, artinya, menghirup 5,6 mg tungsten heksafluorida per kilogram berat badan akan mengakibatkan tingkat kematian 50%. Tungsten heksafluorida dapat mengiritasi saluran pernafasan sehingga menimbulkan gejala seperti batuk, dada sesak, dan dispnea. Kasus yang parah dapat menyebabkan edema paru, gagal napas, dan bahkan kematian.

Akankah tungsten berkarat?

Tungsten tidak akan berkarat. Tungsten merupakan logam inert yang tidak mudah bereaksi dengan oksigen di udara. Oleh karena itu, tungsten tidak akan berkarat pada suhu normal.

Bisakah asam menimbulkan korosi pada tungsten?

Asam dapat menimbulkan korosi pada tungsten, tetapi dengan kecepatan yang lebih lambat. Asam kuat seperti asam sulfat pekat dan asam klorida pekat dapat menimbulkan korosi pada tungsten, namun membutuhkan waktu yang lama. Asam lemah seperti asam sulfat encer dan asam klorida encer memiliki efek korosi yang lemah pada tungsten.

UTAMA