Gas tungsten fluorida mengalami teknologi pemurnian, termasuk teknologi pemisahan rektifikasi, untuk menghilangkan zat dengan titik didih rendah, kemudian menghilangkan zat dengan titik didih tinggi, kemudian masuk ke menara adsorpsi yang dilengkapi dengan adsorben, dan memperoleh gas tungsten heksafluorida dengan kemurnian tinggi setelah adsorpsi.