Պանելային արդյունաբերություն

Հարթ վահանակի ցուցադրման տեխնոլոգիայի զարգացման շնորհիվ հաճախորդներին անհրաժեշտ են ավելի շատ հատուկ գազեր և համապատասխան մասնագիտական ​​գիտելիքներ և փորձ: Huazhong Gas-ը հարթ վահանակի ցուցադրման հաճախորդներին տրամադրում է հատուկ գազային նյութերի լայն տեսականի, ներառյալ դոպինգը, ֆիլմի նստեցումը, փորագրումը և խցիկի մաքրման գործընթացները:

Առաջարկվող ապրանքներ ձեր ոլորտի համար

Սիլան

Էլեկտրոնային կարգի սիլանի գազը հիմնականում օգտագործվում է TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) ցուցադրման վահանակների արդյունաբերության մեջ, ինչպես նաև LCD-ների համար TFT կամ LTPS ենթաշերտերի տեղադրման համար:

Ամոնիակ

Սիլանի հետ համակցված այն կազմում է a-Si տրանզիստորների սիլիցիումի նիտրիդային շերտը։

Գազախառնուրդ

LTPS և MOS տրանզիստորների արտադրությունը մեծացրել է ազոտի օքսիդի օգտագործումը։ MO արտադրության մեջ սպառման և օգտագործման տեսանկյունից N2O-ը գերազանցել է NF3-ը՝ դառնալով ամենաօգտագործվող էլեկտրոնային նյութը MO արտադրության մեջ:

ազոտի տրիֆտորիդ

NF3-ն առավել հաճախ օգտագործվող էլեկտրոնային նյութն է a-Si և LTPS ցուցադրման արտադրության մեջ և հիմնականում օգտագործվում է PECVD խցիկները մաքրելու համար: