Ինչպե՞ս են արտադրվում սիլանները:
(1) Մագնեզիումի սիլիցիդի մեթոդ. արձագանքել սիլիցիումի և մագնեզիումի խառը փոշին ջրածնի մեջ մոտ 500°C ջերմաստիճանում, և առաջացած մագնեզիումի սիլիցիդը արձագանքել ամոնիումի քլորիդով ցածր ջերմաստիճանի հեղուկ ամոնիակում՝ սիլանի ստանալու համար: Հեղուկ ազոտով սառեցված թորման ապարատում դրա մաքրումից ստացվում է մաքուր սիլանի:
(2) Համասեռ ռեակցիայի մեթոդ. արձագանքել սիլիցիումի փոշին, սիլիցիումի տետրաքլորիդը և ջրածինը 500°C-ից բարձր տաքացված հեղուկացված անկողնային վառարանում՝ տրիքլորսիլան ստանալու համար: Տրիքլորոսիլանն առանձնացվում է թորման միջոցով։ Դիկլորսիլանը ստացվում է տարասեռ ռեակցիայի արդյունքում՝ կատալիզատորի առկայության դեպքում։ Ստացված դիքլորսիլանը խառնուրդ է սիլիցիումի տետրաքլորիդի և տրիքլորսիլանի հետ, ուստի թորումից հետո կարելի է ստանալ մաքուր դիքլորսիլան։ Տրիքլորոսիլանը և մոնոսիլանը ստացվում են դիքլորսիլանից՝ օգտագործելով տարասեռ ռեակցիայի կատալիզատոր։ Ստացված մոնոսիլանը զտվում է ցածր ջերմաստիճանի բարձր ճնշման թորման սարքի միջոցով։
(3) Սիլիցիում-մագնեզիումի համաձուլվածքը մշակեք աղաթթվով:
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) Սիլիցիում-մագնեզիումի համաձուլվածքը փոխազդում է ամոնիումի բրոմիդի հետ հեղուկ ամոնիակում։
(5) Օգտագործելով լիթիումի ալյումինի հիդրիդը, լիթիումի բորոհիդրիդը և այլն՝ որպես վերականգնող նյութեր, նվազեցրեք տետրաքլորսիլանը կամ տրիքլորոսիլանը եթերի մեջ:
2. Ո՞րն է սիլանի մեկնարկային նյութը:
Պատրաստման համար հումքսիլանհիմնականում սիլիցիումի փոշին և ջրածինը։ Սիլիցիումի փոշու մաքրության պահանջները համեմատաբար բարձր են՝ ընդհանուր առմամբ հասնելով ավելի քան 99,999%-ի: Ջրածինը նաև զտվում է պատրաստված սիլանի բարձր մաքրությունն ապահովելու համար։
3. Ո՞րն է սիլանի գործառույթը:
Որպես գազի աղբյուր, որն ապահովում է սիլիցիումի բաղադրիչներ, սիլանը կարող է օգտագործվել բարձր մաքրության պոլիբյուրեղային սիլիցիումի, մեկ բյուրեղյա սիլիցիումի, միկրոբյուրեղային սիլիցիումի, ամորֆ սիլիցիումի, սիլիցիումի նիտրիդների, սիլիցիումի օքսիդի, տարասեռ սիլիցիումի և տարբեր մետաղների սիլիցիդների արտադրության համար: Իր բարձր մաքրության և նուրբ հսկողության պատճառով այն դարձել է կարևոր մասնագիտացված գազ, որը չի կարող փոխարինվել բազմաթիվ այլ սիլիցիումի աղբյուրներով: Սիլանը լայնորեն օգտագործվում է միկրոէլեկտրոնիկայի և օպտոէլեկտրոնիկայի արդյունաբերություններում և օգտագործվում է արևային բջիջների, հարթ վահանակների էկրանների, ապակու և պողպատե ծածկույթների արտադրության մեջ և աշխարհում միակ միջանկյալ արտադրանքն է հատիկավոր բարձր մաքրության սիլիցիումի լայնածավալ արտադրության համար: Սիլանի բարձր տեխնոլոգիական կիրառությունները դեռևս ի հայտ են գալիս, ներառյալ առաջադեմ կերամիկայի, կոմպոզիտային նյութերի, ֆունկցիոնալ նյութերի, կենսանյութերի, բարձր էներգիայի նյութերի և այլնի արտադրության մեջ, և դառնում են բազմաթիվ նոր տեխնոլոգիաների, նոր նյութերի և այլնի հիմքը: նոր սարքեր.
4. Արդյո՞ք սիլանները էկոլոգիապես մաքուր են:
Այո, սիլանային մշակման միջոցը չի պարունակում ծանր մետաղների իոններ և այլ աղտոտիչներ, և այն համապատասխանում է ROHS և SGS շրջակա միջավայրի պաշտպանության ստանդարտներին:
5. Սիլանի կիրառում
Քլորոսիլանների և ալկիլ քլորոսիլանների կմախքի կառուցվածքը, սիլիցիումի էպիտաքսիալ աճը, պոլիսիլիկոնի հումքը, սիլիցիումի օքսիդը, սիլիցիումի նիտրիդը և այլն, արևային բջիջներ, օպտիկական մանրաթելեր, գունավոր ապակու արտադրություն, քիմիական գոլորշիների նստեցում:
