Mire használható a volfrám-hexafluorid?
Mire használható a volfrám-hexafluorid?
Volfrám-hexafluoridszíntelen, mérgező és maró hatású gáz, amelynek sűrűsége körülbelül 13 g/l, ami körülbelül 11-szerese a levegő sűrűségének, és az egyik legsűrűbb gáz. A félvezetőiparban a volfrám-hexafluoridot főként a kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) eljárásban használják volfrámfém leválasztására. A leválasztott volfrámfólia átmenő lyukak és érintkező lyukak összekötő vonalaként használható, és alacsony ellenállással és magas olvadásponttal rendelkezik. A volfrám-hexafluoridot kémiai maratáshoz, plazmamaratáshoz és egyéb eljárásokhoz is használják.
Mi a legsűrűbb, nem mérgező gáz?
A legsűrűbb, nem mérgező gáz az argon (Ar), amelynek sűrűsége 1,7845 g/l. Az argon inert gáz, színtelen és szagtalan, és nem könnyen reagál más anyagokkal. Az argongázt elsősorban gázvédelemben, fémhegesztésben, fémvágásban, lézeres és egyéb területeken használják.
A wolfram erősebb, mint a titán?
A volfrám és a titán egyaránt magas olvadáspontú és szilárdságú fémes elemek. A volfrám olvadáspontja 3422 °C, szilárdsága 500 MPa, míg a titán olvadáspontja 1668 °C, szilárdsága 434 MPa. Ezért a wolfram erősebb, mint a titán.
Mennyire mérgező a volfrám-hexafluorid?
Volfrám-hexafluoriderősen mérgező gáz, amely belélegezve súlyos károkat okozhat az emberi szervezetben. A volfrám-hexafluorid LD50 értéke 5,6 mg/kg, azaz testtömeg-kilogrammonként 5,6 mg volfrám-hexafluorid belélegzése 50%-os halálozási arányt eredményez. A volfrám-hexafluorid irritálhatja a légutakat, és olyan tüneteket okozhat, mint a köhögés, a mellkasi szorító érzés és a nehézlégzés. A súlyos esetek tüdőödémához, légzési elégtelenséghez és akár halálhoz is vezethetnek.
A wolfram rozsdásodik?
A wolfram nem rozsdásodik. A wolfram egy inert fém, amely nem reagál könnyen a levegő oxigénjével. Ezért a wolfram normál hőmérsékleten nem rozsdásodik.
A sav korrodálhatja a volfrámot?
A savak korrodálhatják a volfrámot, de lassabban. Az erős savak, például a tömény kénsav és a tömény sósav korrodálhatják a volfrámot, de ez sokáig tart. A gyenge savak, például a híg kénsav és a híg sósav gyenge korróziós hatást fejtenek ki a volfrámra.
Ammónia alkalmazása a félvezetőiparban
