Félvezető ipar

Integrált áramkör/félvezető ügyfeleink számára különféle speciális gázokat biztosítunk, amelyek olyan folyamatokhoz szükségesek, mint a diffúzió, litográfia, leválasztás, maratás, adalékolás és tisztítás.

Iparága számára ajánlott termékek

Nitrogén-trifluorid

A maratási ipari folyamatban az elektrongáz és a maratandó tárgy közötti kémiai reakcióra van szükség. Az ostyagyártás maratási folyamatában a maratott rész eltávolításához elektronspecifikus gázt kell használni az irányított maratás céljának eléréséhez.

Szilán

A félvezetőiparban a szilánt főként nagy tisztaságú poliszilícium, szilícium-dioxid film, szilícium-nitrid film, poliszilícium szigetelőréteg stb. gyártására használják, valamint felhasználható napelemek, optikai szálak és fotoelektromos érzékelők stb.

Gázkeverék

A dinitrogén-oxidot elektrongázként főként dielektromos vékonyréteg-eljárásban használják félvezető optoelektronikai eszközök fejlesztésére és gyártására. Ez egy pótolhatatlan kulcsfogalom gáz, amely közvetlenül befolyásolja az optoelektronikai eszközök minőségét.