A csomagolás egyéb specifikációi is biztosíthatók az ügyfél igényei szerint
Foszfoán kevert gáz
| Tisztaság vagy mennyiség | hordozó | kötet |
| 99,999%/99,9999% | henger | 47L |
Foszfoán kevert gáz
A foszfin fontos n-típusú adalékforrás a félvezető eszközök gyártásában. Használják poliszilícium kémiai gőzleválasztásban, epitaxiális GaP anyagokban, ionimplantációs folyamatban, MOCVD eljárásban és foszfoszilikát üveg (PSG) passzivációs film készítésében.
Alkalmazások
Félvezető
Napelemes fotovoltaikus
LED
Gépgyártás
Vegyipar
Orvosi kezelés
Élelmiszer
Tudományos kutatás
