Panelipar

A lapos kijelzős technológia fejlődésével egyre több speciális gázra és az ehhez kapcsolódó szakmai tudásra, tapasztalatra van szükségük az ügyfeleknek. A Huazhong Gas speciális gázanyagok széles választékát kínálja a lapos képernyős kijelzők vásárlóinak, beleértve az adalékolást, a filmfelhordást, a maratást és a kamratisztítási eljárásokat.

Iparága számára ajánlott termékek

Szilán

Az elektronikus minőségű szilángázt főként TFT (vékonyrétegű tranzisztor)/LCD (folyadékkristályos kijelző) gyártásához használják a kijelzőpanel-iparban, valamint TFT vagy LTPS szubsztrátumok leválasztására az LCD-k számára.

Ammónia

Szilánnal kombinálva az a-Si tranzisztorok szilícium-nitrid rétegét alkotja.

Gázkeverék

Az LTPS és MOS tranzisztorok gyártása megnövelte a dinitrogén-oxid felhasználását. A fogyasztás és a MO gyártás során történő felhasználás szempontjából az N2O megelőzte az NF3-at, és a leggyakrabban használt elektronikus anyag lett a MO gyártásban.

nitrogén-trifluorid

Az NF3 a leggyakrabban használt elektronikus anyag az a-Si és LTPS kijelzőgyártásban, és főként a PECVD kamrák tisztítására használják.