Hogyan készülnek a szilánok?
(1) Magnézium-szilicid módszer: a szilícium és magnézium kevert porát hidrogénben körülbelül 500 °C-on, majd a keletkezett magnézium-szilicidet alacsony hőmérsékletű folyékony ammóniában ammónium-kloriddal reagáltatva szilánt kapunk. Folyékony nitrogénnel hűtött desztilláló berendezésben történő tisztítása tiszta szilánt eredményez.
(2) Heterogén reakciómódszer: szilíciumpor, szilícium-tetraklorid és hidrogén reagáltatása 500 °C fölé melegített fluidágyas kemencében triklór-szilán előállítására. A triklór-szilánt desztillációval választják el. A diklórszilánt heterogén reakcióval kapják katalizátor jelenlétében. A kapott diklór-szilán szilícium-tetraklorid és triklór-szilán keveréke, így desztilláció után tiszta diklór-szilánt kaphatunk. A triklór-szilánt és a monoszilánt diklór-szilánból nyerik heterogén reakciókatalizátor alkalmazásával. A kapott monoszilánt alacsony hőmérsékletű nagynyomású desztilláló berendezéssel tisztítják.
(3) Kezelje a szilícium-magnézium ötvözetet sósavval.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) A szilícium-magnézium ötvözet folyékony ammóniában reagál ammónium-bromiddal.
(5) Lítium-alumínium-hidridet, lítium-bór-hidridet stb. redukálószerként használva redukálja a tetraklór-szilánt vagy triklór-szilánt éterben.
2. Mi a szilán kiindulási anyaga?
Az elkészítéshez szükséges alapanyagokszilánfőként szilíciumpor és hidrogén. A szilíciumpor tisztasági követelményei viszonylag magasak, általában elérik a 99,999%-ot. A hidrogént is finomítják, hogy biztosítsák az elkészített szilán nagy tisztaságát.
3. Mi a szilán feladata?
Szilícium-komponenseket biztosító gázforrásként a szilán felhasználható nagy tisztaságú polikristályos szilícium, egykristályos szilícium, mikrokristályos szilícium, amorf szilícium, szilícium-nitrid, szilícium-oxid, heterogén szilícium és különféle fém-szilicidek előállítására. Nagy tisztasága és finom szabályozása miatt fontos speciális gázzá vált, amely nem helyettesíthető sok más szilíciumforrással. A szilánt széles körben használják a mikroelektronikai és optoelektronikai iparban, napelemek, síkképernyők, üveg- és acélbevonatok gyártására használják, és ez az egyetlen közbenső termék a világon a szemcsés, nagy tisztaságú szilícium nagyüzemi előállításához. A szilán csúcstechnológiás alkalmazásai még mindig csak kialakulóban vannak, beleértve a fejlett kerámiák, kompozit anyagok, funkcionális anyagok, bioanyagok, nagy energiájú anyagok stb. gyártásában való felhasználását, és számos új technológia, új anyag, ill. új eszközök.
4. A szilánok környezetbarátak?
Igen, a szilán kezelőszer nem tartalmaz nehézfém-ionokat és egyéb szennyező anyagokat, és megfelel az ROHS és az SGS környezetvédelmi szabványainak.
5. Szilán alkalmazása
Klórszilánok és alkil-klórszilánok vázszerkezete, szilícium epitaxiális növekedése, poliszilícium alapanyagai, szilícium-oxid, szilícium-nitrid stb., napelemek, optikai szálak, színes üveggyártás, kémiai gőzleválasztás.
Ammónia alkalmazása a félvezetőiparban
