Industrija poluvodiča

Kupcima integriranih krugova/poluvodiča pružamo razne posebne plinove potrebne za procese kao što su difuzija, litografija, taloženje, jetkanje, dopiranje i čišćenje.

Preporučeni proizvodi za vašu industriju

Dušikov trifluorid

U industrijskom procesu jetkanja potrebna je kemijska reakcija između plina elektrona i predmeta koji se gravira. U procesu jetkanja u proizvodnji pločica, potrebno je koristiti plin specifičan za elektrone za uklanjanje ugraviranog dijela kako bi se postigla svrha usmjerenog jetkanja.

Silan

U industriji poluvodiča silan se uglavnom koristi za proizvodnju polisilicija visoke čistoće, filma silicijevog dioksida, filma silicijevog nitrida, izolacijskog sloja polisilicija itd., a također se može koristiti za proizvodnju solarnih ćelija, optičkih vlakana i fotoelektričnih senzora itd.

plinska smjesa

Kao elektronski plin, dušikov oksid se uglavnom koristi u postupku dielektričnog tankog filma za razvoj i proizvodnju poluvodičkih optoelektroničkih uređaja. To je nezamjenjiv ključni koncept plina koji izravno utječe na kvalitetu optoelektroničkih uređaja.