Huazhong Gas muaj cov tshuaj tua peb tus kheej kom txawj kos duab thiab kev tshawb fawb txog kev lag luam thiab Cov roj txheem tshwj xeeb ntau lawm. Nyob rau hauv lub ntiaj teb no xyoo niaj hnub no, tshwj xeeb tshaj yog nyob hauv lub Semiconductor kev lag luam, qhov thov rau Ultra-siab huv gases tsis yog cia li nyiam; Nws yog ib qho kev tsim nyog kiag li. Kab lus no rho mus rau hauv lub ntiaj teb tseem ceeb ntawm Kev Tshawb Xyuas Txhaum rau Hluav Taws Xob Cov Khoom Siv Tshwj XeebCov. Peb yuav tshawb nrhiav yog vim li cas txawm tias cov tiniest lam ua tuaj yeem muaj colossal kev rau txim, yuav ua li cas peb tshawb xyuas cov elusive no trace impurities, thiab txhais tau li cas rau kev lag luam. Kev to taub Roj impurities thiab cov hau kev rau lawv huv thiab nrhiav kom tau, xws li ICP-MS, yog qhov tseem ceeb los ua kom ntseeg tau txoj kev ntseeg tau thiab ua haujlwm ntawm niaj hnub Khoom siv hluav taws xobCov. Daim ntawv no yog tsim nyog rau koj lub sijhawm vim tias nws muaj lub Hoobkas-insider lub tswv yim pom ntawm kev tswj hwm txoj hlua purity ntawm cov roj txheem tshwj xeeb, lub hauv paus ntawm lub Semiconductor thiab Khoom siv hluav taws xob .

Dab tsi yog raws nraim yog cov roj txheem tshwj xeeb hluav taws xob thiab vim li cas lawv txoj kev ua siab phem heev nyob rau hauv kev tsim khoom?

Hluav Taws Xob Cov Khoom Siv Tshwj Xeeb, feem ntau hu ua Cov roj txheem hluav taws xob lossis Cov Khoom Siv Hluav Taws Xob, yog ib qeb tshwj xeeb ntawm High-Purity Gases thiab Roj Sib xyaw Tshwj xeeb muaj kev tsim kho rau cov txheej txheem sib txuam nrog cov txheej txheem tsim khoom hluav taws xob. Xav txog lawv raws li cov neeg pom ntawm lub hnub nyoog digital. Tej no Gases siv nyob rau hauv semiconductor Fabrication suav nrog ntau ntau yam, xws li kev ua si (sih₄) rau kev ua kom cov khoom sib dhos silicon, nf₃) rau chav ntxuav, tus sib cav (AR) raws li cov ntaub thaiv hauv inert, thiab ntau yam doping roj zoo li phosphine (ph ₃) lossis arsine (tshauv) kom hloov cov hluav taws xob ntawm Semiconductor Cov ntaub ntawv. Lo lus "hluav taws xob tshwj xeeb"Nws tus kheej tseem ceeb dua lawv daim ntawv thov txiav nyiaj thiab cov ntsiab lus tseem ceeb uas xav tau nyob hauv lawv txoj kev sib xyaw. Cov no tsis yog koj txhua hnub Kev siv roj; lawv cov specifications muaj kev nruj ntau dua.

Qhov tseem ceeb ntawm qhov tseem ceeb ntawm lawv kev coj dawb huv tsis tau overstated, tshwj xeeb hauv Siciconductor UaCov. Niaj hnub nimno ke sib xyaw ua ke (ICS) cov chaw tiv thaiv thiab cov kab txuas ntxiv uas yog qhov tsis txaus ntseeg, feem ntau ntsuas hauv nanometers (billionths ntawm ib lub meter). Ntawm no microscopic nplai, txawm tias ib qho tsis xav tau atom-a lam ua-Txoj kev ua yeeb yam zoo li lub pob zeb loj hauv cov kwj deg me me, cuam tshuam cov phiaj xwm hluav taws xob txaus los yog ua rau cov teeb meem hluav taws xob. Qhov no tuaj yeem ua rau lub faulty nti, thiab nyob rau hauv kev lag luam uas muaj cov chips yog tsim nyob rau ib qho wafer, cov nyiaj txiag thiab rov qab muaj kev puas tsuaj los ntawm ntau tsis huv tuaj yeem loj heev. Yog li ntawd, tus purity ntawm cov roj txheem tshwj xeeb yog ib tug ncej txheem uas tag nrho Cov khoom siv hluav taws xob thiab semiconductor Kev lag luam sawv ntsug. Abtsi lam ua tuaj yeem hloov kho cov khoom ua tau zoo, tawm los, thiab kev ntseeg tau, ua kom nruj Roj Purity tswj qhov tseem ceeb.

Ntawm Huazhong Gas, peb nkag siab tias peb cov neeg yuav khoom hauv Semiconductor Industries Vam khom rau peb kom muab cov roj uas tau sib ntsib lossis tshaj "tsib leeg" (99.99%) lossis txawm tias "rau nke" (99.9999%) purity qib. Qhov no txhais tau tias ib qho lam ua Yuav tsum muaj tam sim no ntawm cov kev ua kom qis dua feem ntau qhov chaw (PPM) lossis txawm seem ib lab (PPB). Ua tiav thiab ua kom pom tseeb xws li siab huv theem yuav tsum tau sophisticated huv Cov tswv yim thiab qhov tseem ceeb, Qib Siab Kev Tshawb Xyuas Txhaum Cov hau kev. Lub xub ntiag ntawm kev npaj txhij txog lam ua kuj tseem tuaj yeem qhia cov teeb meem nrog cov cov roj dab Los yog cov khoom siv muab, ua cov tshev zoo ib yam tseem ceeb. Peb ua kom peb NITROGEN KHEEJ KHEEJ Kev muab, piv txwv li, ua raws li cov qauv no, raws li nitrogen yog cov pa roj ua haujlwm hauv ntau cov kauj ruam sinsonduct.

Yuav ua li cas txawm tias microscopic trace imurities derail saciconductor cov kab ntau lawm?

Nws qee zaum nyuaj rau xav tias yuav ua li cas ib yam dab tsi me, a lw impurity ntsuas hauv seem rau ib lab (ppol) lossis txawm seem nyob rau ib trillion (Ppt), tuaj yeem ua rau muaj teeb meem zoo li no. Tab sis nyob hauv lub ntiaj teb Semiconductor kev tsim khoom, cov ntawv me me no cov tsis huv yog cov neeg phem loj. Cia peb xav txog cov txheej txheem fabricoductor Txhua kauj ruam ntawm ib qho chaw tswj hwm ib puag ncig, feem ntau tsim lossis tswj hwm los ntawm Hluav Taws Xob Cov Khoom Siv Tshwj XeebCov. Yog a Roj Siv Hauv ib ntawm cov kauj ruam no nqa ib qho tsis xav tau lam ua, uas lam ua tuaj yeem muab tso rau hauv cov txheej me me ntawm cov Semiconductor ntaus ntawv.

Piv txwv li, Nws yog xim hlau impurities Zoo li sodium, hlau, lossis tooj liab, txawm tias ntawm ultra-qis ntau heev, tuaj yeem hloov hluav taws xob hluav taws xob ntawm silicon. Lawv tuaj yeem tsim kev tsis xav tau txoj kev, ua rau luv luv kev ncig, lossis ua raws li cov khoom siv hluav taws xob, ua rau nws poob tag nrho. Ib lam ua Kuj tseem tuaj yeem cuam tshuam nrog cov tshuaj lom neeg cov kev xav tau npaj rau hauv cov txheej txheem qib. Piv txwv li, a yuav Hauv cov roj etching tej zaum yuav ua rau hauv qab-etching lossis tshaj-etching, puas ntsoog cov qauv ncaj qha rau ntawm wafer. Qhov cuam tshuam tsis yog rau ntawm ib leeg cov tshuaj; ib qho tsis muaj kev tiv thaiv lam ua Qhov teeb meem tuaj yeem ua rau tag nrho cov batches ntawm wafers tau scrapped, ua rau cov tub ceev xwm zoo li khij cov tub ceev xwm, uas xav tau cov khoom siv ruaj khov. Qhov tseem ceeb no qhov kev xav tau tseem ceeb heev Trace impurities ntsuas.

Qhov kev sib tw yog qhov "nce qib" qib rau ib qho twg lam ua pheej shrinking li Semiconductor Cov khoom nta ua me dua. Dab tsi yog suav tias yog siv tau lam ua Qib ib xyoo caum dhau los tej zaum yuav muaj kev puas tsuaj loj tsis huv Niaj hnub no. Qhov no tsis tshua muaj tsav rau miniaturization muab cov nyuaj nyuaj rau cov roj av tsim khoom thiab tshuaj xyuas cov labs los txhim kho Nrhiav kom tau txwv muaj peev xwm. Txawm kev uas tsis pom impurities, me me plua plav specks tsis pom rau lub qhov muag liab qab, tuaj yeem tiv thaiv lub teeb hauv photolithograph cov kauj ruam lossis tsim qhov tsis xws luag rau ntawm wafer saum npoo. Yog li ntawd, tswj txhua lub peev xwm lam ua - txawm gaseous, nws yog xim hlau, lossis kev uas tsis pom - yog qhov tseem ceeb heev. Tus Ntau ntawm impurities uas tuaj yeem ua teeb meem yog qhov dav dav, hais txog qhov xav tau kev xav tau dav dav Kev Ntsuas Cov Roj.

Dab tsi yog cov tsim muaj teeb meem tshaj plaws? Kev txheeb xyuas cov impurities nyob rau hauv gases rau cov khoom siv hluav taws xob.

Thaum peb tham txog impurities nyob rau hauv av nkas npaj rau lub Cov khoom siv hluav taws xob thiab semiconductor Cov kab ke, peb tab tom saib ntawm ntau yam duab ua ke ntawm cov cim, txhua tus nrog lub peev xwm los ua kom muaj kev phom sij tseem ceeb. Tej no impurities yuav tsum tau kuaj pom tuaj yeem dav dav tau categorized rau hauv gaseous, nws yog xim hlau, thiab cov ntaub ntawv. Nkag siab cov teeb tsa uas muaj teeb tsa yog thawj kauj ruam hauv kev ua tau zoo Kev Tshawb Xyuas Txhaum thiab tswj. Qhov tshwj xeeb impurities tam sim no Yuav sib txawv raws li cov roj av nws tus kheej, nws txoj kev ntau lawm, cia, thiab tuav.

GASOUSE kev tsis loj Puas yog lwm cov roj av nyob hauv lub ntsiab Cov roj txheem tshwj xeebCov. Piv txwv li, hauv siab huv nitrogen, ib txwm gaseous kev tsis loj tej zaum yuav suav nrog oxygen (o₂), noo noo (h₂o), carbon dioxide (co₂), carbon monoxide (CO), thiab hydrocarbons (CHVCAUN). Oxygen thiab noo noo yog tshwj xeeb yog teeb meem vim lawv yog reactive thiab tuaj yeem ua rau tsis xav tau oxidation ntawm Semiconductor cov ntaub ntawv lossis cov cuab yeej siv. Txawm nyob hauv ib inert gas nyiam tus sib cav, cov no tuaj yeem nyob ntawm txoj kab qib. Raws li lub tuam txhab, peb feem ntau pom cov lus thov rau kev tsom xam ntawm a ntau yam ntawm impurities, suav nrog cov hom uas muaj kev xav. Piv txwv li, peb lub peev xwm suav nrog kev ua haujlwm nyuaj Roj av cov khoom lag luam, qhov twg tswj tau txhua feem, suav nrog cov peev xwm gaseous kev tsis loj, yog paramount.

Nws yog xim hlau impurities yog lwm qhov kev txhawj xeeb tseem ceeb. Cov no yog atoms ntawm cov hlau zoo li sodium (na), calassium (k), calcium (CA), chromium (thiab txhuas (al). Lawv tuaj yeem pib los ntawm cov khoom siv raw, cov khoom siv tsim khoom (zoo li pipelines thiab reactors), lossis txawm tias tus cov roj dab lawv tus kheej yog tias tsis kho kom zoo. Raws li tau hais, cov no Hlau impurities tuaj yeem cuam tshuam rau kev cuam tshuam hluav taws xob Semiconductor pab kiag li lawm. Kuaj pom cov qib ppb lossis purb lossis ppt tau rhiab heev xws li kev sib txuas ntshav hluav taws xob ntshav ntau lawm (ICP-MS). Peb kuj yuav tsum xav txog kev uas tsis pom teeb meem. Cov no yog cov khoom me me lossis kua rau hauv lub Roj FlowCov. Lawv tuaj yeem ua rau lub cev tsis xws luag rau Wafers, thaiv cov khoom siv hauv cov khoom, lossis qhia lwm yam cov tsis huvCov. Kev txiav txim yog tus yuam sij los tshem tawm cov particulates, tab sis saib xyuas lawv cov qib kuj tseem yog ib feem ntawm cov muaj txhij txhua Roj Zoo kev pab cuam. Ib co Hluav Taws Xob Cov Khoom Siv Tshwj Xeeb yog Corrosive Gases lossis Cov roj to oxic, uas ntxiv lwm txheej ntawm cov txheej txheem rau lawv tuav thiab tsom xam, kom paub tseeb tias tus lam ua profile tsis exacerbate cov phom sij no.

ICP-MS: Tus qauv kub rau kev ntes nws yog xim hlau hauv cov roj av semiconductor?

Thaum nws los txog rau Tsom xam cov xim hlau impurities hauv Ultra-siab Purity Gases, Inductively txuas hniav ntshav roj av loj, lossis ICP-MS, yog dav txawm tias yog lub thev naus laus zis. Nws yog cov txheej txheem analytical haib uas tuaj yeem pom thiab ntau ntau ntau ntawm Lub ntsiab auturities, feem ntau nqis los xav tsis thoob theem qis - tsam qhov chaw-ib-trillion (ppt) lossis txawm tias seem-ib-quadrillion (ppq) rau qee cov ntsiab lus. No rhiab yog qhov tseeb yog vim li cas ICP-MS tau dhau los ua qhov tseem ceeb heev rau cov Semiconductor kev lag luam, qhov twg, raws li peb tau sib tham, txawm tias ib feeb ob peb co Nws yog xim hlau impurities tuaj yeem ua rau muaj kev puas tsuaj rau Khoom Zoo.

Yuav ua li cas ICP-MS Ua haujlwm nws cov khawv koob? Hauv cov ntsiab lus yooj yim, tus Qauv Roj (los yog kev daws teeb meem los ntawm cov roj) tau qhia rau hauv cov ntshav kub heev, feem ntau ua los ntawm tus sib cavCov. Qhov ntshav no, ncav cuag qhov kub ntawm 6,000 txog 10,000 ° C, yog nquag txaus kom tawg cov roj molecules thiab ionize cov atoms tam sim no, suav nrog ib qho Nws yog xim hlau impuritiesCov. Cov ions yog tom qab ntawd muab rho tawm los ntawm cov ntshav thiab coj mus rau hauv lub zog loj heev. Cov neeg lim dej loj heev zoo li lim heev, cais cov kabmob ions raws li lawv cov nqi sib piv. Ib tus kuaj tsheb Tom qab ntawd suav cov kabmob ions rau txhua qhov tshwj xeeb, cia peb txheeb xyuas cov khoom twg yog tam sim no thiab ntau npaum li cas. Lub peev xwm ntawm ICP-MS Txhawm rau scan rau qhov dav spectrum ntawm Nws yog xim hlau impurities nyob rau hauv cov roj txheem tshwj xeeb ib txhij ua rau nws muaj txiaj ntsig zoo.

Thaum ICP-MS yog muaj zog heev, nws tsis yog tsis muaj nws cov kev sib tw, tshwj xeeb yog thaum muaj kev cuam tshuam nrog Gases siv nyob rau hauv semiconductor Fabrication. Ib txoj hauv kev ib txwm yog mus ntxiab lub kev tsis loj los ntawm qhov ntim ntau ntawm cov roj mus rau hauv nruab nrab lossis siv cov kua, uas yog tom qab ntawd kos duab los ntawm ICP-MSCov. Txawm li cas los xij, ncaj qha Roj Ncaj Kev Txhaj Tshuaj rau hauv ICP-MS Txheej Txheem kuj tseem ua kom muaj ntau yam rau qee cov ntawv thov, tab sis nws yuav tsum muaj kev cuam tshuam tshwj xeeb. Cov kev xaiv ntawm txoj kev nyob ntawm qhov tshwj xeeb Roj impurities ntawm kev txaus siab, cov matrix roj, thiab qhov yuav tsum tau ua Nrhiav kom tau txwvCov. Ntawm Huazhong Gas, peb nqis peev ntau hauv cov cuab yeej ntawm lub xeev-ntawm-tus-kos duab tsom xam, suav nrog ICP-MS muaj peev xwm, vim peb paub tias muab kev txhim khu kev qha Kev Tshawb Xyuas Txhaum Cov ntaub ntawv yog lub hauv paus rau txoj kev ntseeg siab rau peb cov neeg siv khoom hauv peb Siab Purity Electronic gases. Qhov precision ntawm ICP-MS pab kom paub tseeb tias cov Purity of Gases tau raws li txoj hlua thaiv xav tau rau qib hluav taws xob Cov ntaub ntawv.

Vim li cas thiaj tsis muaj kev lag luam uas tsis muaj kev sib cav uas tsis muaj kev sib txawv rau cov khoom siv hluav taws xob thiab cov lag luam semiconductor?

Qhov xav tau rau unwavering Roj Purity nyob rau hauv Cov khoom hluav taws xob thiab cov Industronductor Tsis yog nyiam; Nws yog qhov tseem ceeb uas yuav tsum tau tsav los ntawm lub cev thiab kev lag luam ntawm niaj hnub tsim. Xws li Semiconductor Cov Nta Ntaus Nta Ntsws mus rau qhov ntsuas hluav taws xob nanometer, lawv cov rhiab heev rau ib hom tsis huv skyroffets. Ib lam ua Uas tej zaum yuav tau neglomible nyob rau hauv laus dua, cov khoom loj tuaj yeem ua rau kev ua phem rau kev ua tsis tiav hauv cov chips-ntug. Qhov cuam tshuam ncaj qha no tawm los - feem pua ​​ntawm cov chips zoo rau cov nyiaj tau los tuaj yeem txhais rau ntau lab nyiaj hauv cov nyiaj tau los rau ib qho Semiconductor Chaw tsim tshuaj paus.

Xav txog lub complex architecture ntawm microprocessor niaj hnub lossis lub cim xeeb nti. Nws muaj ntau plhom tus neeg trantors, txhua tus Marvel ntawm cov coolortering. Cov kev ua tau zoo ntawm cov tshuab txuas no nyob ntawm cov khoom siv hluav taws xob tsis zoo ntawm cov Semiconductor cov ntaub ntawv siv, uas yog, nyeg, muaj kev cuam tshuam heev rau kev tsis lojCov. Piv txwv li, qee yam Nws yog xim hlau impurities tuaj yeem qhia cov qib hluav taws xob uas tsis xav tau nyob hauv cov kab sib tw sib tw, ua rau muaj kev lim dej ntau tam sim no lossis txo cov khoom lag luam. Qhov no txhais tau hais tias qeeb qeeb, tsis tshua muaj txiaj ntsig, lossis kiag li tsis ua haujlwm. GASOUSE kev tsis loj Xws li cov pa oxygen lossis noo noo tuaj yeem ua rau kev tsim cov txheej txheem oxide uas tsis tau ua, hloov cov yeeb yaj kiab tuab lossis cov khoom sib txuas lus rau cov lag luam. Tag nrho Roj Zoo ncaj qha txhais lus rau Khoom Zoo thiab ntseeg tau.

Tsis tas li ntawd, tus Cov khoom hluav taws xob thiab cov Industronductor yog tus cwj pwm los ntawm cov txheej txheem kim heev thiab kim tsim kev tsim khoom. Ib qho Semiconductor Fabrication cog ("Fab") tuaj yeem nqi nyiaj ntau lab nyiaj daus las los tsim thiab khoom siv. Tus Gases Siv yog qhov tseem ceeb rau ntau ntawm cov txheej txheem nqis ua no. Yog a Cov roj txheem tshwj xeeb yog kis nrog ib lam ua, nws tsis yog cuam tshuam rau cov wafers tam sim no ua tiav; Nws kuj tuaj yeem ua rau paug cov khoom ua haujlwm uas ua tau kav nws tus kheej. Qhov no tuaj yeem ua rau ncua sij hawm kom tu thiab cuam tshuam rau cov nqi thiab cuam tshuam rau ib tug neeg zoo li tus neeg xa khoom tuaj ntsib nws cov neeg siv khoom 'xav tau. Yog li ntawd, kom ntseeg tau purity ntawm cov roj txheem tshwj xeeb los ntawm kev nruj Kev Tshawb Xyuas Txhaum yog qhov kev pheej hmoo txaus ntshai kev txo hwj chim rau tag nrho cov khoom siv muab khoom. Lub tsom rau Siab siab gases Yog qhov tsis sib haum vim tias cov tswg muaj cov txiaj ntsig zoo kawg nkaus.

Dab tsi yog qhov nyuaj sib tw peb ntsib hauv kev tsom xam ntawm nws yog xim hlau impurities hauv roj tshwj xeeb?

Kev tshuaj teszes Nws yog xim hlau impurities hauv Cov Khoom Siv Tshwj Xeeb Tshwj Xeeb, tshwj xeeb yog cov siv nyob rau hauv Semiconductor Kev lag luam, nthuav tawm ib qho kev sib tw sib tw. Cov thawj qhov nyuaj stems los ntawm cov khoom siv qis heev ntawm cov no kev tsis loj Yuav muaj teeb meem - feem ntau nyob rau hauv cov seem-ib-lab (ppb) lossis txawm tias seem-ib-trillion (Ppt) ntau yam. Kuaj pom thiab qhia tseeb tias cov sijhawm siv sijhawm xws li yuav tsum tsis tsuas yog siv cov khoom siv rhiab heev li ICP-MS Tab sis kuj ua kom huv ib puag ncig thiab cov qauv ua piv txwv tsis hnov ​​cov kev cai kom tsis txhob qhia sab nraud sab nraud tsis huv.

Ib qho kev sib tw tseem ceeb yog cov qauv qhia. Coob Cov roj txheem tshwj xeeb siv hauv Khoom siv hluav taws xob yog cov kev xav ua tau zoo, xeb, lossis txawm tias pyrophoric (zes nthawv hauv huab cua). Nyab xeeb thiab muaj zoo hloov cov no roj mus rau hauv ib qho kev ntsuas ntsuas zoo li ib ICP-MS tsis hloov lub Qauv Roj lossis paug qhov ntsuas yuav tsum muaj kev cuam tshuam tshwj xeeb thiab cov txheej txheem tuav. Piv txwv li, ncaj qha txhaj A Corrosive Roj zoo li hydrogen chloride (HCl) rau hauv tus qauv ICP-MS system yuav ua rau nws nyuaj rau nws. Yog li ntawd, cov txheej txheem tsis ncaj, xws li impinger trapping (bubbling roj los ntawm cov kua los ntawm kev ntes kev tsis loj) lossis cryogenic cuab ntxiab, feem ntau ua haujlwm. Txawm li cas los xij, cov qauv no tuaj yeem qhia lawv tus kheej cov peev txheej ntawm tsis huv los yog tshuaj ntsuam tsis tau yog tias tsis tau ua tiav. Qhov kev xaiv ntawm Tus cab kuj roj rau kev siv zog, yog tias xav tau, yuav tsum yog qhov ua kom ncaj kev coj dawb huv.

Lwm qhov kev sib tw yog "kev ua tiav." Qhov paus nws tus kheej (piv txwv li, tus sib cav, nitrogen, hydrogen) tuaj yeem cuam tshuam nrog kev kuaj pom ntawm trace impuritiesCov. Piv txwv li, hauv ICP-MS, lub plasma tsim los ntawm ntau paus tuaj yeem tsim polyatomic ions uas muaj tib lub zog-rau-them piv nrog qee lub hom phiaj Nws yog xim hlau impurities, ua rau tsis muaj tseeb thiab tsis raug cai. Cov kws tshuaj ntsuam yuav tsum siv cov txuj ci zoo li kev sib tsoo / tshuaj tiv thaiv kab mob hauv ICP-MS lossis high-decolution massic loj spectrometry kom kov yeej cov kev cuam tshuam spectral no. Tsis tas li ntawd, cov qauv ntsuas hluav taws xob siv rau kev siv rau kev siv rau Hlau impurities yuav tsum muaj tseeb heev thiab traceable, thiab tag nrho cov txheej txheem ntsuas tshuaj yuav tsum tau siv tau los ua kom muaj kev ntseeg tau ntawm cov Kev Tshawb Xyuas Txhaum Cov txiaj ntsig tau. Peb, raws li ib tug neeg xa khoom, kuj txhawj xeeb txog kev ncaj ncees ntawm cov roj dab thiab lawv lub peev xwm los pab Nws yog xim hlau impurities Lub sijhawm dhau sijhawm, uas yuav tsum ua ntu zus los tswj.

Siv tau cov cuab yeej sib pauv roj txhim kho qhov tseeb ntawm trace impurities ntsuas?

Yog lawm, Siv Cov Khoom Siv Roj Sib Haum tuaj yeem tseeb ua si lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev txhim kho qhov tseeb ntawm Trace impurities ntsuas, tshwj xeeb tshaj yog thaum cuam tshuam nrog kev sib tw paus matrices lossis thaum tsom rau ultra-qes Nrhiav kom tau txwvCov. Ib Roj Txauv Ntaus, qee zaum hu ua kev sib cav sib txawv, ua haujlwm yeej tseem ceeb los ntawm kev xaiv tshem tawm cov paus (lub ntsiab tivthaiv ntawm lub Qauv Roj) thaum mloog cov trace impurities ntawm kev txaus siab. Cov kauj ruam ua ntej no tuaj yeem txhim kho qhov rhiab ntawm cov txuj ci ntsuas kev ntsuas ib yam li ICP-MS lossis Roj Chromotography .

Lub hauv paus ntsiab lus qab ntau Roj Txauv Ntaus Koom tes nrog ib nrab permeable mem ci los yog xaiv adsorption / desorption meintism. Piv txwv li, ib qho palladium membrane tuaj yeem siv los xaiv cov hydrogen los ntawm a Roj sib xyaw, cia lwm yam impurities nyob rau hauv av nkas kom muaj concentrated thiab dhau mus rau a tus kuaj tshebCov. Ib yam li ntawd, cov ntaub ntawv adsorbent tuaj yeem cuab tsis muaj qee yam kev tsis loj los ntawm kev ntws paus Strews, uas tuaj yeem yog thermally desorbed nyob rau hauv ib tug me me ntim ntawm ib tug huv Tus cab kuj roj rau kev tsom xam. Los ntawm kev txo tus nqi ntawm ntau paus mus txog tus kuaj tsheb, cov cuab yeej siv no tau muab cov khoom sib cuam tshuam matrix, qis dua lub suab keeb kwm yav dhau, thiab ua kom muaj zog sib piv rau lub hom phiaj trace impuritiesCov. Qhov no tuaj yeem ua rau qis dua Txwv tsis pub nrhiav kom tau.

Cov txiaj ntsig ntawm Siv Cov Khoom Siv Roj Sib Haum yog muaj tseeb tshwm sim thaum kev tshuaj ntsuam xyuas impurities hauv hluav taws xob Gases uas nyuaj los tuav ncaj qha lossis uas ua rau muaj kev cuam tshuam tseem ceeb hauv cov twj ntsuas tshuaj. Piv txwv li, thaum sim ntsuas cov kab oxygen lossis ya raws hauv cov kev hloov pauv Cov roj txheem tshwj xeeb, a Roj Txauv Ntaus yuav muaj peev xwm cais cov no kev tsis loj mus rau hauv ib tug benign ntau Tus cab kuj roj nyiam tus sib cav los sis helium ua ntej lawv mus txog tus kuaj tshebCov. Qhov no tsis tsuas yog txhim kho qhov tseeb tab sis kuj tuaj yeem tiv thaiv kev tiv thaiv kev rhiab. Ua cov chaw tsim khoom 99.999% Purity 50L Lub Tog Raj Kheej Xenon roj, peb nkag siab txog tus nqi ntawm cov txuj ci siab dhau los hauv kev txheeb xyuas qhov tshwj xeeb kev coj dawb huv ntawm tsawg thiab Cov Khoom Siv Tshwj Xeeb Tshwj XeebCov. Cov thev naus laus zis AIDS hauv qhov tseem ceeb Roj Ntshav Ntshav Purification thiab cov theem ua pov thawj.

Qhov tseem ceeb link: Kev Tshawb Xyuas Kev Tshawb Fawb Hauv Roj Siv Txuas ncaj qha hauv cov qauv ua haujlwm ncaj qha hauv kev tsim khoom.

Tus Gases siv ncaj qha hauv semiconductor ua yog lub thoob ntiaj teb ntawm txoj kev ua vajtse. Cov no suav nrog tsis yog roj zoo li nitrogen thiab tus sib cav, tab sis kuj tseem muaj kev dav dav ntawm Hluav Taws Xob Cov Khoom Siv Tshwj Xeeb xws li Epitaxial Gases (piv txwv li, silane, German rau kev loj hlob crystal txheej), etching gases (piv txwv li, nf₃, sf₆, clr rau patterning), Ion Cog Zog (E.g., arsine, Phosphine, Boron trifluoride rau doping), thiab gases gases. Rau txhua tus ntawm no gases yuav tsum tau, qib thiab hom kev siv tau lam ua yog txoj kev sib cav vim tias muaj kev sib txawv tuaj yeem txhais tau ncaj qha tuaj rau hauv qhov tsis xws luag ntawm Semiconductor wafer. Qhov no ua rau Kev Tshawb Xyuas Txhaum rau cov no Kev Gases ib kauj ruam tseem ceeb ntawm kev tswj hwm theem.

Xav txog kev tso nyiaj rau ntawm ib qho nyias nyias silicon dioxide txheej, ib qho insulator hauv transistors. Yog cov pa oxygen roj siv Rau cov txheej txheem no muaj fydrocarbon kev tsis loj, Cov pa roj carbon monoxide tuaj yeem nkag mus rau hauv Oxide txheej, saib tsis tau nws cov khoom insulating thiab muaj peev xwm ua rau ntaus ntawv tsis ua haujlwm. Ib yam li ntawd, yog tias etching paus muaj ib qho kev npaj txhij txog lam ua, Nws yuav hloov cov etch li tus nqi lossis xaiv cov, ua rau cov nta uas yog loj dhau, zoo li tus kheej. Txawm ib lam ua Hauv ib inert gas nyiam Argon Gas Lub Tog Raj Kheej Siv rau sputtering tuaj yeem pauv mus rau hauv wafer saum npoo, cuam tshuam rau zaj duab xis zoo. Qhov cuam tshuam ntawm ib lam ua yog feem ntau cov txheej txheem-tshwj xeeb, lub ntsiab lus ib lam ua zam txim rau hauv ib kauj ruam yuav yog qhov tseem ceeb yuav nyob rau hauv lwm.

Qhov kev sib txuas tseem ceeb no yuav tsum muaj cov kev sib ze rau Kev Tshawb Xyuas TxhaumCov. Nws tsis yog hais txog kev kuaj xyuas cov khoom kawg nkaus xwb; Nws cuam tshuam nrog kev saib xyuas cov ntaub ntawv raw, hauv-txheej ntws, thiab zaum kawg paus Purification theem. Rau semiconductor tshwj xeeb gases, cov specifications rau impurities nyob semiconductor Cov ntawv thov yog feem ntau tsis muaj zog, thawb cov ciam ntawm kev kuaj pom. Peb ua haujlwm ze nrog peb cov neeg siv khoom hauv Semiconductor thiab cov khoom siv hluav taws xob teb kom nkag siab lawv cov lus lam ua rhiab rau sib txawv Gases Thiab Roj MixturesCov. Txoj kev sib koom ua ke no yuav pab tau tias cov Purity Totionty Gases Peb muab cov khoom siv tas li ntawm qhov xav tau ntawm lawv cov txheej txheem ua kom zoo. Cov kev sib tw sib tw hauv kev ntes a ntau yam ntawm impurities Thaum tsis muaj ntau ntau yam tsawg.

Tshaj dhau qhov kev kuaj mob: kev coj ua zoo tshaj plaws rau kev tuav cov roj shadonductor gases los tiv thaiv kom paug.

Kom ntseeg tau purity ntawm cov roj txheem tshwj xeeb tsis xaus thaum lub paus Tawm peb cov chaw tsim khoom ntau lawm. Tswj hwm ntawd kev coj dawb huv txhua txoj kev mus rau qhov kev siv hauv a Semiconductor Fab yuav tsum tau ua kom zoo nkauj heev rau kev tuav, cia, thiab xa tawm. Txawm tias qhov siab tshaj plaws Purity roj tuaj yeem ua paug yog tias tsis tswj kom raug. Ntawm Huazhong Gas, peb tsis tsuas yog tsom rau kev tsim khoom High-Purity Gases Tab sis kuj qhia peb cov neeg siv khoom ntawm kev coj ua tau los tiv thaiv kom tsis txhob muaj tsis huv.

Cov Ntsiab Lus Tseem Ceeb xws li:

• Feem tiv thaiv: Tag nrho cov khoom siv hauv cov roj plab - suav nrog cov roj dab, cov tswj hwm, cov li qub, tubing, thiab fittings, yuav tsum tau ua los ntawm cov khoom tsim nyog (E.g., electropolished stainless hlau) thiab yuav tau ntxuav tshwj xeeb thiab muaj ntawv pov thawj rau Ultra-siab huv (UHP) kev pabcuam. Siv cov khoom siv tsis raug kuj tuaj yeem ua rau muaj kev tawm tsam kev tsis loj lossis a Nws yog xim hlau leaching rau hauv Roj Flow.
• System Kev Ncaj Ncees: Cov khoom siv roj-roj yuav tsum xau dej kom nruj. Txawm tias cov quav me me tuaj yeem tso cov huab cua cov tsis huv xws li oxygen, noo noo, thiab kev uas tsis pom teeb meem nkag mus rau hauv lub kaw lus, cuam tshuam Roj PurityCov. Kev kuaj xyuas tsis tu ncua yog qhov tseem ceeb.
• Ntxuav cov txheej txheem: Cov txheej txheem ua kom tsim nyog yog qhov tseem ceeb txhua zaus sib txuas yog ua lossis lub tog raj kheej hloov. Qhov no suav nrog yaug cov kab nrog a Cov pa roj siab siab (zoo li tus sib cav los yog nitrogen) kom tshem tawm cov huab cua lossis kev tsis lojCov. Tsis muaj kev lim yog qhov sib xws ntawm tsis huvCov. Peb feem ntau pom zoo kom txua cov panels kom ntseeg tau.
• Cov khoom siv fij: Siv cov regulators thiab cov kab rau qhov tshwj xeeb roj lossis tsev neeg ntawm roj tuaj yeem tiv thaiv kev sib kis no. Qhov no yog qhov tshwj xeeb tshaj yog thaum hloov ntawm ib qho inert gas thiab ib tug reactive lossis Corrosive Roj.
• Lub tog raj kheej tuav: Cov roj dab yuav tsum tau daws nrog kev saib xyuas kom tsis txhob muaj kev puas tsuaj. Lawv yuav tsum tau muab khaws cia rau hauv cov chaw tsim qauv, thaj chaw muaj cua zoo, thiab "thawj zaug-tawm" kev tswj hwm yuav tsum tau xyaum. Kev siv Dedicated noo thiab oxygen Kev Ntsuam Xyuas ntawm cov ntsiab lus tseem ceeb tseem tuaj yeem pab saib xyuas cov khoom ntawm cov tib yam kev tsis loj.

Rau cov neeg siv khoom zoo li Mark Shen, uas yog procuring roj rau kev lag luam lossis rau kev siv hauv kev tsim khoom, nkag siab cov kev coj ua no tseem ceeb heev rau kev tswj hwm cov Khoom Zoo Lawv cog lus rau lawv tus kheej cov neeg siv khoom. Nws yog lub luag haujlwm sib koom ua ke. Peb ua kom peb HYDROGEN KHEEJ KHEEJ cov khoom lag luam, piv txwv li, tau muaj thiab tswj hwm los tiv thaiv lam ua Ingress, tab sis qhov kawg-neeg siv cov txheej txheem ua si ib qho kev sib luag. Kev tawm tsam lam ua yog kev siv zog txuas ntxiv los ntawm kev tsim khoom.

Ntsia rau hauv lub pob crystal: Lub sijhawm tam sim no peb tuaj yeem xav tau nyob rau hauv impyration Nrhiav khoom roj?

Qhov kev sim rau puas tau-siab dua kev coj dawb huv hauv Cov roj cua hauv tshuab hluav taws xob thiab rhiab heev Kabmob Txiaj Ntsig Cov hau kev yog kev taug kev txuas ntxiv, tsav los ntawm kev ntseeg siab ntawm kev tsim kho tshiab hauv Phau Ntawv Maumoos Semiconductor kev lag luam. Raws li cov khoom siv ntaus ntawv mus ntxiv rau hauv sub-10 nanometer realm thiab cov ntaub ntawv tshiab thiab cov cuab yeej tshiab muaj (xws li cov neeg tiv thaiv), qhov cuam tshuam ntawm txawm tias tsaus muag trace impurities yuav dhau los ua cov lus tshaj tawm. Qhov no yuav tas kev nce qib ntxiv hauv ob qho Roj Ntshav Ntshav Purification thev naus laus zis thiab Kev Tshawb Xyuas Txhaum muaj peev xwm.

Peb tuaj yeem npaj siab ntxiv ntau yam:

• Txo cov kev ntsuas qis dua: Kev ntsuas cov tswv yim zoo li ICP-MS, Roj Chromatography-Pawg Spectrometry (GC-MS), thiab Cavity nplhaib-down spectroscopy (CRDs) yuav txuas ntxiv hloov zuj zus, thawb Nrhiav kom tau txwv Rau qhov dav dav Ntau ntawm impurities nqes mus rau ib tus lej ib qib lossis txawm tias rau hauv lub ppq sau. Qhov no yuav xav tau kev kho siab tshiab hauv ion cov chaw, kev txheeb xyuas loj, thiab tus kuaj tsheb thev naus laus zis.
• Hauv-situ thiab soj ntsuam tiag tiag saib xyuas: Muaj qhov xav tau zuj zus rau kev tshawb xyuas cov khoom siv uas tuaj yeem saib xyuas Roj Purity nyob rau hauv lub sijhawm tiag tiag, ncaj qha ntawm qhov kev siv nyob rau hauv Semiconductor fab. Qhov no tso cai rau kev kuaj pom sai ntawm ib qho twg tsis huv cov xwm txheej lossis txav mus rau hauv lam ua theem, ua kom muaj kev kho sai sai thiab kho cov khoom poob. Miniatrized sensors thiab Advanced Chemometric algorithms yuav ua txoj haujlwm tseem ceeb ntawm no.
• Kev tsom xam ntawm cov roj sib xyaw ua ke: Yav tom ntej Semiconductor Cov txheej txheem yuav koom nrog ntau txoj kev nyuaj Roj Sib xyaw nrog ntau reactive Cheebtsam. Kev tshuaj teszes kev tsis loj Nyob rau hauv xws li nyuaj matrices yuav xav tau cov tswv yim txhais cov ntsiab lus tshiab thiab cov cuab yeej txhais tau cov ntaub ntawv ntau. Lub peev xwm los ntsuas ib lam ua Hauv ib qho tivthaiv tsis muaj kev cuam tshuam los ntawm lwm tus yuav yog qhov tseem ceeb heev.
• Tsom rau "Killer" impurities: Kev tshawb fawb tseem yuav txheeb xyuas tshwj xeeb impurities nyob semiconductor Ua cov khoom uas muaj qhov cuam tshuam loj heev rau cov ntaus ntawv ua haujlwm lossis tawm los, txawm tias tsawg kawg. Kev ntsuas cov hau kev yuav dhau los ua ntau hom phiaj ntawm cov "Killer" kev tsis loj.
• Cov ntaub ntawv analytics thiab Ai: Cov nyiaj ntau ntawm cov ntaub ntawv tsim los ntawm qib siab Kev Tshawb Xyuas Txhaum Cov kab ke yuav tau siv txoj kev siv AI thiab tshuab kev kawm kom txheeb xyuas cov ncauj lus, twv seb tsis huv Cov teeb meem, thiab ua kom zoo Roj Ntshav Ntshav Purification cov txheej txheem. Qhov no tuaj yeem pab ua kom muaj kev tswj hwm zoo dua li kev daws teeb meem.

Ntawm Huazhong Gas, peb tau cog lus tias yuav nyob ntawm qhov kev tsim tawm ntawm cov kev tsim kho no. Peb txuas ntxiv kev tshawb fawb thiab kev txhim kho, koom tes nrog cov koom tes kev lag luam thiab cov koom haum kev kawm ua ntej kev kawm Muaj Siab Purity Gas Ntau lawm thiab Kev Tshawb Xyuas TxhaumCov. Rau peb cov neeg siv khoom, suav nrog cov neeg muaj txiaj ntsig zoo raws li Mark Shen, qhov no txhais tau tias yog cov khoom siv tau zoo ntawm Hluav Taws Xob Cov Khoom Siv Tshwj Xeeb uas ua tau raws li cov kev xav tau ntawm cov Cov khoom hluav taws xob thiab cov IndustronductorCov. Peb Ntau Yam Helium, paub rau nws inertness thiab siv nyob rau hauv cov ntawv thov tshwj xeeb, kuj muaj txiaj ntsig los ntawm kev ntsuas kev ntsuas kev ntsuas tau kom ntseeg tau tsawg lam ua qib.

Tseem ceeb takaways kom nco ntsoov:

• Hluav Taws Xob Cov Khoom Siv Tshwj Xeeb yog qhov tseem ceeb rau Kev Tsim Txaj Semiconductor, thiab lawv kev coj dawb huv yog tsis muaj kev sib ceg.
• Txawm trace impurities, ntsuas hauv PPB lossis PPT, tuaj yeem ua rau qhov tsis xws luag thiab paib poob rau hauv Semiconductor pab kiag li lawm.
• Sib xws impurities nyob rau hauv av nkas suav nrog lwm cov roj (zoo li o₂, h₂o), Nws yog xim hlau impurities, thiab kev uas tsis pom teeb meem.
• ICP-MS yog lub cornerone technology rau kuaj a ntau yam ntawm impurities, tshwj xeeb Nws yog xim hlau impurities, ntawm ultra-theem qis.
• Tswj xyuas Roj Purity yuav tsum tau ceev nrag thiab lub kaw lus kev ncaj ncees los ntawm Roj fais fab mus rau qhov kev siv los tiv thaiv tsis huv.
• Lub neej yav tom ntej yuav pom txawm tias qis dua Nrhiav kom tau txwv, kev tshuaj xyuas lub sijhawm tiag tiag, thiab tsav ib tsav Kev Tshawb Xyuas Txhaum rau qib hluav taws xob gases.
• Tswj txhua lub peev xwm lam ua yog tseem ceeb heev rau ensuring lub Khoom Zoo thiab kev ntseeg tau ntawm niaj hnub Khoom siv hluav taws xob.