टंगस्टन फ्लोराइड गैस कम उबलते पदार्थों को हटाने, फिर उच्च उबलते पदार्थों को हटाने, और फिर सोखने वालों से सुसज्जित सोखना टॉवर में प्रवेश करने और सोखने के बाद उच्च शुद्धता वाले टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड गैस प्राप्त करने के लिए शुद्धिकरण पृथक्करण तकनीक सहित शुद्धिकरण तकनीक से गुजरती है।