(1) मैग्नीशियम सिलिसाइड विधि: लगभग 500 डिग्री सेल्सियस पर हाइड्रोजन में सिलिकॉन और मैग्नीशियम के मिश्रित पाउडर की प्रतिक्रिया करें, और सिलेन प्राप्त करने के लिए कम तापमान वाले तरल अमोनिया में अमोनियम क्लोराइड के साथ उत्पन्न मैग्नीशियम सिलिसाइड की प्रतिक्रिया करें। तरल नाइट्रोजन से ठंडा किए गए आसवन उपकरण में इसका शुद्धिकरण करने से शुद्ध सिलेन प्राप्त होता है।
(2) विषम प्रतिक्रिया विधि: ट्राइक्लोरोसिलेन प्राप्त करने के लिए सिलिकॉन पाउडर, सिलिकॉन टेट्राक्लोराइड और हाइड्रोजन को 500 डिग्री सेल्सियस से ऊपर गर्म की गई द्रवयुक्त भट्टी में प्रतिक्रिया करें। ट्राइक्लोरोसिलेन को आसवन द्वारा अलग किया जाता है। डाइक्लोरोसिलेन एक उत्प्रेरक की उपस्थिति में विषमांगी प्रतिक्रिया द्वारा प्राप्त किया जाता है। प्राप्त डाइक्लोरोसिलेन सिलिकॉन टेट्राक्लोराइड और ट्राइक्लोरोसिलेन का मिश्रण है, इसलिए आसवन के बाद शुद्ध डाइक्लोरोसिलेन प्राप्त किया जा सकता है। ट्राइक्लोरोसिलेन और मोनोसिलेन एक विषम प्रतिक्रिया उत्प्रेरक का उपयोग करके डाइक्लोरोसिलेन से प्राप्त किए जाते हैं। प्राप्त मोनोसिलेन को कम तापमान वाले उच्च दबाव वाले आसवन उपकरण द्वारा शुद्ध किया जाता है।
(3) सिलिकॉन-मैग्नीशियम मिश्र धातु को हाइड्रोक्लोरिक एसिड से उपचारित करें।
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) सिलिकॉन-मैग्नीशियम मिश्र धातु तरल अमोनिया में अमोनियम ब्रोमाइड के साथ प्रतिक्रिया करती है।
(5) लिथियम एल्यूमीनियम हाइड्राइड, लिथियम बोरोहाइड्राइड, आदि को कम करने वाले एजेंटों के रूप में उपयोग करके, ईथर में टेट्राक्लोरोसिलेन या ट्राइक्लोरोसिलेन को कम करें।