પેનલ ઉદ્યોગ

ફ્લેટ પેનલ ડિસ્પ્લે ટેક્નોલોજીના વિકાસ સાથે, ગ્રાહકોને વધુ વિશેષ ગેસ અને સંબંધિત વ્યાવસાયિક જ્ઞાન અને અનુભવની જરૂર છે. હુઆઝોંગ ગેસ ફ્લેટ પેનલ ડિસ્પ્લે ગ્રાહકોને ડોપિંગ, ફિલ્મ ડિપોઝિશન, ઇચિંગ અને ચેમ્બર ક્લિનિંગ પ્રક્રિયા એપ્લિકેશન સહિત વિવિધ પ્રકારની વિશિષ્ટ ગેસ સામગ્રી પ્રદાન કરે છે.

તમારા ઉદ્યોગ માટે ભલામણ કરેલ ઉત્પાદનો

સિલેન

ઈલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડના સિલેન ગેસનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે ડિસ્પ્લે પેનલ ઉદ્યોગમાં TFT (થિન ફિલ્મ ટ્રાન્ઝિસ્ટર)/LCD (લિક્વિડ ક્રિસ્ટલ ડિસ્પ્લે)ના ઉત્પાદનમાં અને LCDs માટે TFT અથવા LTPS સબસ્ટ્રેટના નિકાલમાં થાય છે.

એમોનિયા

સિલેન સાથે મળીને, તે a-Si ટ્રાન્ઝિસ્ટરનું સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ સ્તર બનાવે છે.

ગેસમિશ્રણ

LTPS અને MOS ટ્રાન્ઝિસ્ટરના ઉત્પાદને નાઈટ્રસ ઓક્સાઇડનો ઉપયોગ વધાર્યો છે. MO ઉત્પાદનમાં વપરાશ અને ઉપયોગના પરિપ્રેક્ષ્યમાં, N2O એ NF3 ને વટાવી MO ઉત્પાદનમાં સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાતી ઇલેક્ટ્રોનિક સામગ્રી બની છે.

નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ

NF3 એ a-Si અને LTPS ડિસ્પ્લે ઉત્પાદનમાં સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાતી ઇલેક્ટ્રોનિક સામગ્રી છે અને તેનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે PECVD ચેમ્બરને સાફ કરવા માટે થાય છે.