(1) મેગ્નેશિયમ સિલિસાઇડ પદ્ધતિ: હાઇડ્રોજનમાં સિલિકોન અને મેગ્નેશિયમના મિશ્રિત પાવડરને લગભગ 500 °C પર પ્રતિક્રિયા આપો અને સિલેન મેળવવા માટે નીચા-તાપમાનના પ્રવાહી એમોનિયામાં એમોનિયમ ક્લોરાઇડ સાથે ઉત્પન્ન થયેલા મેગ્નેશિયમ સિલિસાઇડને પ્રતિક્રિયા આપો. પ્રવાહી નાઇટ્રોજનથી ઠંડુ કરાયેલા નિસ્યંદન ઉપકરણમાં તેને શુદ્ધ કરવાથી શુદ્ધ સિલેન મળે છે.
(2) વિજાતીય પ્રતિક્રિયા પદ્ધતિ: ટ્રાઇક્લોરોસીલેન મેળવવા માટે 500 ° સે ઉપર ગરમ કરવામાં આવેલી પ્રવાહીયુક્ત બેડ ફર્નેસમાં સિલિકોન પાવડર, સિલિકોન ટેટ્રાક્લોરાઇડ અને હાઇડ્રોજનની પ્રતિક્રિયા કરો. ટ્રાઇક્લોરોસિલેનને નિસ્યંદન દ્વારા અલગ કરવામાં આવે છે. ડિક્લોરોસિલેન ઉત્પ્રેરકની હાજરીમાં વિજાતીય પ્રતિક્રિયા દ્વારા મેળવવામાં આવે છે. મેળવેલ ડીક્લોરોસીલેન એ સિલિકોન ટેટ્રાક્લોરાઇડ અને ટ્રાઇક્લોરોસીલેન સાથેનું મિશ્રણ છે, તેથી શુદ્ધ ડીક્લોરોસીલેન નિસ્યંદન પછી મેળવી શકાય છે. વિજાતીય પ્રતિક્રિયા ઉત્પ્રેરકનો ઉપયોગ કરીને ડિક્લોરોસિલેનમાંથી ટ્રાઇક્લોરોસિલેન અને મોનોસિલેન મેળવવામાં આવે છે. મેળવેલ મોનોસિલેનને નીચા-તાપમાનના ઉચ્ચ-દબાણના નિસ્યંદન ઉપકરણ દ્વારા શુદ્ધ કરવામાં આવે છે.
(3) હાઇડ્રોક્લોરિક એસિડ સાથે સિલિકોન-મેગ્નેશિયમ એલોયની સારવાર કરો.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) સિલિકોન-મેગ્નેશિયમ એલોય પ્રવાહી એમોનિયામાં એમોનિયમ બ્રોમાઇડ સાથે પ્રતિક્રિયા આપે છે.
(5) લિથિયમ એલ્યુમિનિયમ હાઇડ્રાઇડ, લિથિયમ બોરોહાઇડ્રાઇડ, વગેરેનો રિડ્યુસિંગ એજન્ટ તરીકે ઉપયોગ કરીને, ઇથરમાં ટેટ્રાક્લોરોસીલેન અથવા ટ્રાઇક્લોરોસિલેન ઘટાડો.