Gnìomhachas pannal

Le leasachadh teicneòlas taisbeanaidh pannal còmhnard, feumaidh luchd-ceannach barrachd gasaichean sònraichte agus eòlas agus eòlas proifeasanta co-cheangailte. Bidh Huazhong Gas a’ toirt seachad measgachadh farsaing de stuthan gas sònraichte do luchd-ceannach taisbeanaidh pannal còmhnard, a’ toirt a-steach dopadh, tasgadh film, msaa.

Bathar air a mholadh airson do ghnìomhachas

Sìne

Tha gas silane ìre dealanach air a chleachdadh sa mhòr-chuid ann a bhith a’ dèanamh TFT (Transistor Film Thin) / LCD (Taisbeanadh Crystal Liquid) ann an gnìomhachas a’ phannail taisbeanaidh, agus ann a bhith a’ tasgadh fo-stratan TFT no LTPS airson LCDs.

Ammonia

Còmhla ri silane, tha e a’ dèanamh suas an còmhdach silicon nitride de transistors a-Si.

Measgachadh gas

Tha cinneasachadh transistors LTPS agus MOS air cleachdadh nitrous oxide a mheudachadh. Bho shealladh caitheamh is cleachdadh ann an cinneasachadh MO, tha N2O air a dhol thairis air NF3 gu bhith mar an stuth dealanach as motha a chleachdar ann an cinneasachadh MO.

nitrogen trifluoride

Is e NF3 an stuth dealanach as cumanta ann an riochdachadh taisbeanaidh a-Si agus LTPS agus tha e air a chleachdadh sa mhòr-chuid airson seòmraichean PECVD a ghlanadh.