Is foinse thábhachtach dópála n-cineál é fosfín i ndéanamh feistí leathsheoltóra. Úsáidtear é freisin i sil-leagan gaile ceimiceach polysilicon, ábhair epitaxial GaP, próiseas ionchlannú ian, próiseas MOCVD, agus ullmhú scannán pasivation gloine phosphosilicate (PSG).