Tionscal painéil

Le forbairt na teicneolaíochta taispeána painéil chomhréidh, ní mór do chustaiméirí níos mó gáis speisialta agus eolas agus taithí ghairmiúil ghaolmhar. Soláthraíonn Gás Huazhong raon leathan ábhar gáis speisialta do chustaiméirí taispeántais painéil chomhréidh, lena n-áirítear dópáil, taisceadh scannáin, eitseáil agus próisis glantacháin seomra Iarratais.

Táirgí molta do do thionscal

Síleann

Úsáidtear gás silane de ghrád leictreonach go príomha i dtáirgeadh TFT (Transistor Scannán Thin)/LCD (Taispeántas Criostal Leachtach) i dtionscal na bpainéal taispeána, agus i sil-leagan foshraitheanna TFT nó LTPS le haghaidh LCDanna.

Amóinia

In éineacht le silane, cruthaíonn sé an ciseal nítríde sileacain de thrasraitheoirí a-Si.

Meascán gáis

Tá méadú tagtha ar úsáid ocsaíd nítriúil le táirgeadh trasraitheoirí LTPS agus MOS. Ó thaobh tomhaltais agus úsáide i dtáirgeadh MO, tá N2O tar éis dul thar NF3 le bheith ar an ábhar leictreonach is mó a úsáidtear i dtáirgeadh MO.

trifluairíd nítrigine

Is é NF3 an t-ábhar leictreonach is coitianta a úsáidtear i dtáirgeadh taispeántais a-Si agus LTPS agus úsáidtear é go príomha chun seomraí PECVD a ghlanadh.