A quoi sert l'hexafluorure de tungstène ?

2023-09-04

A quoi sert l'hexafluorure de tungstène ?

Hexafluorure de tungstèneest un gaz incolore, toxique et corrosif d'une densité d'environ 13 g/L, soit environ 11 fois la densité de l'air et l'un des gaz les plus denses. Dans l'industrie des semi-conducteurs, l'hexafluorure de tungstène est principalement utilisé dans le processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour déposer du tungstène métallique. Le film de tungstène déposé peut être utilisé comme ligne d'interconnexion de trous traversants et de trous de contact, et présente les caractéristiques d'une faible résistance et d'un point de fusion élevé. L'hexafluorure de tungstène est également utilisé dans la gravure chimique, la gravure au plasma et d'autres procédés.

Quel est le gaz non toxique le plus dense ?

Le gaz non toxique le plus dense est l'argon (Ar) avec une densité de 1,7845 g/L. L'argon est un gaz inerte, incolore et inodore et ne réagit pas facilement avec d'autres substances. Le gaz argon est principalement utilisé dans la protection contre les gaz, le soudage des métaux, la découpe des métaux, le laser et d'autres domaines.

Le tungstène est-il plus résistant que le titane ?

Le tungstène et le titane sont tous deux des éléments métalliques dotés de points de fusion et d'une résistance élevés. Le point de fusion du tungstène est de 3 422 °C et la résistance est de 500 MPa, tandis que le point de fusion du titane est de 1 668 °C et la résistance est de 434 MPa. Le tungstène est donc plus résistant que le titane.

Dans quelle mesure l’hexafluorure de tungstène est-il toxique ?

Hexafluorure de tungstèneest un gaz hautement toxique qui peut causer de graves dommages au corps humain s'il est inhalé. La DL50 de l'hexafluorure de tungstène est de 5,6 mg/kg, c'est-à-dire que l'inhalation de 5,6 mg d'hexafluorure de tungstène par kilogramme de poids corporel entraînera un taux de mortalité de 50 %. L'hexafluorure de tungstène peut irriter les voies respiratoires, provoquant des symptômes tels que toux, oppression thoracique et dyspnée. Les cas graves peuvent entraîner un œdème pulmonaire, une insuffisance respiratoire et même la mort.

Le tungstène va-t-il rouiller ?

Le tungstène ne rouille pas. Le tungstène est un métal inerte qui ne réagit pas facilement avec l'oxygène de l'air. Par conséquent, le tungstène ne rouillera pas à température normale.

L’acide peut-il corroder le tungstène ?

Les acides peuvent corroder le tungstène, mais à un rythme plus lent. Les acides forts tels que l’acide sulfurique concentré et l’acide chlorhydrique concentré peuvent corroder le tungstène, mais cela prend beaucoup de temps. Les acides faibles tels que l'acide sulfurique dilué et l'acide chlorhydrique dilué ont un faible effet de corrosion sur le tungstène.