Le gaz fluorure de tungstène subit une technologie de purification, y compris une technologie de séparation par rectification, pour éliminer les substances à faible point d'ébullition, puis éliminer les substances à haut point d'ébullition, puis entrer dans la tour d'adsorption équipée d'adsorbants et obtenir du gaz hexafluorure de tungstène de haute pureté après adsorption.