La formule chimique du trifluorure d'azote est NF₃. C'est un gaz incolore, inodore et stable à température ambiante. C'est un agent oxydant puissant. Le trifluorure d'azote de haute pureté présente un excellent taux de gravure et une excellente sélectivité et constitue également un très bon agent de nettoyage. Huazhong peut vous fournir du trifluorure d'azote gazeux de haute pureté pour améliorer votre processus de semi-conducteurs.