Argon Liquide

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L'argon est l'un des gaz vecteurs les plus courants en chromatographie en phase gazeuse. L'argon est utilisé comme gaz porteur dans la pulvérisation cathodique, la gravure au plasma et l'implantation d'ions, ainsi que comme gaz de protection dans la croissance des cristaux.

Pureté ou quantité	transporteur	volume
99,999%	pétrolier	22,6 m³

Argon liquide

La source d’argon la plus courante est une usine de séparation de l’air. L'air contient env. 0,93 % (volume) d'argon. Un flux d'argon brut contenant jusqu'à 5 % d'oxygène est éliminé de la colonne de séparation d'air primaire par une colonne secondaire (« arme secondaire »). L'argon brut est ensuite purifié davantage pour produire les différentes qualités commerciales requises. L'argon peut également être récupéré à partir du flux de gaz résiduaires de certaines usines d'ammoniac.