Mihin volframiheksafluoridia käytetään?
Mihin volframiheksafluoridia käytetään?
Volframiheksafluoridion väritön, myrkyllinen ja syövyttävä kaasu, jonka tiheys on noin 13 g/l, mikä on noin 11 kertaa ilman tiheys ja yksi tiheimmistä kaasuista. Puolijohdeteollisuudessa volframiheksafluoridia käytetään pääasiassa kemiallisessa höyrypinnoitusprosessissa (CVD) volframimetallin kerrostamiseen. Kerrostettua volframikalvoa voidaan käyttää läpimenevien reikien ja kosketusreikien liitäntälinjana, ja sillä on alhainen vastus ja korkea sulamispiste. Volframiheksafluoridia käytetään myös kemiallisessa etsauksessa, plasmaetsauksessa ja muissa prosesseissa.
Mikä on tihein myrkytön kaasu?
Tihein myrkytön kaasu on argon (Ar), jonka tiheys on 1,7845 g/l. Argon on inertti kaasu, väritön ja hajuton, eikä se reagoi helposti muiden aineiden kanssa. Argonkaasua käytetään pääasiassa kaasusuojauksessa, metallien hitsauksessa, metallin leikkauksessa, laserissa ja muilla aloilla.
Onko volframi vahvempi kuin titaani?
Volframi ja titaani ovat molemmat metallisia elementtejä, joilla on korkea sulamispiste ja lujuus. Volframin sulamispiste on 3422 °C ja lujuus 500 MPa, kun taas titaanin sulamispiste on 1668 °C ja lujuus 434 MPa. Siksi volframi on vahvempaa kuin titaani.
Kuinka myrkyllistä volframiheksafluoridi on?
Volframiheksafluoridion erittäin myrkyllinen kaasu, joka voi aiheuttaa vakavia vaurioita ihmiskeholle hengitettynä. Volframiheksafluoridin LD50 on 5,6 mg/kg, eli 5,6 mg volframiheksafluoridin hengittäminen painokiloa kohti johtaa 50 %:n kuolleisuuteen. Volframiheksafluoridi voi ärsyttää hengitysteitä ja aiheuttaa oireita, kuten yskää, puristavaa tunnetta rinnassa ja hengenahdistusta. Vakavat tapaukset voivat johtaa keuhkoödeemaan, hengitysvajaukseen ja jopa kuolemaan.
Ruostuuko volframi?
Volframi ei ruostu. Volframi on inertti metalli, joka ei reagoi helposti ilman hapen kanssa. Siksi volframi ei ruostu normaalilämpötilassa.
Voiko happo syövyttää volframia?
Hapot voivat syövyttää volframia, mutta hitaammin. Vahvat hapot, kuten väkevä rikkihappo ja väkevä suolahappo, voivat syövyttää volframia, mutta se kestää kauan. Heikoilla hapoilla, kuten laimealla rikkihapolla ja laimealla kloorivetyhapolla, on heikko korroosiovaikutus volframiin.
Ammoniakin käyttö puolijohdeteollisuudessa
