Muita pakkausselosteita voidaan toimittaa asiakkaan vaatimusten mukaan

NF3 99,999 % puhtaus Typpitrifluoridi Elektroniikkateollisuus NF3

Typpitrifluoridia valmistetaan fluoraamalla suoraan ammoniakkia. Sitä voidaan saada myös sulan ammoniumbifluoridin elektrolyysillä tai alkuainetypen ja fluorin suoralla yhdistelmällä käyttämällä sähköpurkausta alhaisissa lämpötiloissa.

Typpitrifluoridi on erinomainen plasmaetsauskaasu mikroelektroniikkateollisuudessa, erityisen sopiva piin ja piinitridin etsaukseen korkeammalla nopeudella ja selektiivisyydellä. Typpitrifluoridia voidaan käyttää korkeaenergisenä polttoaineena tai hapettavana aineena korkeaenergisille polttoaineille. Typpitrifluoridia voidaan käyttää myös korkean energian kemiallisissa lasereissa fluorivetylaserien hapettavana aineena. Puolijohteiden ja TFT-LCD:n valmistuksessa käytettävissä ohutkalvoprosesseissa typpitrifluoridi toimii "puhdistusaineena", mutta tämä puhdistusaine on kaasu, ei neste. Typpitrifluoridia voidaan käyttää tetrafluorihydratsiinin valmistukseen ja fluorihiilivetyolefiinien fluoraamiseen.

NF3 99,999 % puhtaus Typpitrifluoridi Elektroniikkateollisuus NF3

Parametri

OmaisuusArvo
Ulkonäkö ja ominaisuudetVäritön kaasu, jolla on ummehtunut haju
Sulamispiste (℃)-208.5
PH-arvoMerkityksetön
Suhteellinen tiheys (vesi = 1)1.89
Kriittinen lämpötila (℃)-39.3
Suhteellinen höyryntiheys (ilma = 1)2.46
Kriittinen paine (MPa)4.53
Tyydyttyneen höyryn paine (kPa)Tietoja ei ole saatavilla
Kiehumispiste (℃)-129
Oktanoli/vesi -jakaantumiskerroinTietoja ei ole saatavilla
Leimahduspiste (°C)Merkityksetön
Syttymislämpötila (°C)Merkityksetön
Yläräjähdysraja % (V/V)Merkityksetön
Alempi räjähdysraja % (V/V)Merkityksetön
LiukoisuusEi liukene veteen

Turvallisuusohjeet

Hätätilanteen yleiskatsaus: väritön kaasu, jolla on ummehtunut haju; Myrkyllistä, voi aiheuttaa tai pahentaa palamista; Hapettava aine; Paineenalainen kaasu voi kuumennettaessa räjähtää; Pitkäaikainen tai toistuva altistuminen voi aiheuttaa elinvaurioita; Terveydelle haitallista hengitettynä.
GHS-riskiluokat: Hapettava kaasu -1, paineistettu kaasu -puristettu kaasu, kohde-elinjärjestelmän myrkyllisyys toistuvan kosketuksen seurauksena -2, akuutti myrkyllisyys - hengitys -4.
Varoitussana: Vaara
Vaaralauseke: voi aiheuttaa tai pahentaa palamista; Hapettava aine; Paineenalainen kaasu voi kuumennettaessa räjähtää; Pitkäaikainen tai toistuva altistuminen voi aiheuttaa elinvaurioita; Terveydelle haitallista hengitettynä.
Varotoimenpiteet:
· Ennaltaehkäisevät toimenpiteet:
-- Käyttäjien on saatava erityiskoulutus ja noudatettava tiukasti toimintaohjeita.
- Tiukasti suljettu riittävän paikallispoiston ja kattavan ilmanvaihdon varmistamiseksi.
-- On suositeltavaa, että käyttäjät käyttävät henkilökohtaisia ​​suojavarusteita.
- Estä kaasun vuotaminen työpaikan ilmaan.
-- Säilytettävä poissa tulesta ja kuumuudesta.
-- Tupakointi on ehdottomasti kielletty työpaikalla.
-- Pidä erillään syttyvistä ja palavista materiaaleista.
-- Vältä kosketusta pelkistysaineiden kanssa.
-- Kevyt lastaus ja purkaminen käsittelyn aikana estämään sylintereiden ja lisävarusteiden vaurioituminen.
- Älä päästä ympäristöön.
· Vastaus tapahtumaan
-- Jos ainetta on hengitetty, siirrä nopeasti paikalta raittiiseen ilmaan. Pidä hengitystiesi vapaana. Jos hengitys on vaikeaa, tässä
Anna happea. Jos hengitys ja sydän pysähtyvät, aloita elvytys välittömästi. Hakeudu lääkärin hoitoon.
-- Kerää vuodot talteen.
Tulipalon sattuessa katkaise ilmanlähde, palohenkilöstö käyttää kaasunaamareita ja seiso tuulen yläpuolella turvallisella etäisyydellä tulipalon sammuttamiseksi.
· Turvallinen säilytys:
- Säilytetty viileässä, tuuletetussa myrkyllisten kaasujen varastossa.
-- Varaston lämpötila ei saa ylittää 30 ℃.
- Säilytettävä erillään helposti syttyvistä aineista, pelkistävistä aineista, syötävistä kemikaaleista jne., eikä sitä saa sekoittaa.
-- Varastoalue tulee varustaa vuotojen hätäkäsittelylaitteilla.
· Jätteiden hävittäminen:
- Hävittäminen asiaankuuluvien kansallisten ja paikallisten lakien ja määräysten mukaisesti. Tai ota yhteyttä valmistajaan selvittääksesi hävittäjän
Dharma.
Fysikaaliset ja kemialliset vaarat: myrkyllistä, hapettavaa, voi aiheuttaa tai pahentaa palamista, haitallista ympäristölle. Iskun, kitkan, avotulen tai muun sytytyslähteen tapauksessa erittäin räjähtävä. Se on helppo sytyttää joutuessaan kosketuksiin palavien aineiden kanssa.
Terveysvaarat:Se ärsyttää hengitysteitä. Se voi vaikuttaa maksaan ja munuaisiin. Toistuva tai pitkäaikainen altistuminen hengitysteitse voi aiheuttaa fluoroosin.
Ympäristövaarat:Haitallista ympäristölle.

Sovellukset

Puolijohde
Aurinkosähkö
LED
Koneiden valmistus
Kemianteollisuus
Lääketieteellinen hoito
Ruokaa
Tieteellinen tutkimus

Liittyvät tuotteet