سایر مشخصات بسته بندی با توجه به نیاز مشتری قابل ارائه است

NF3 99.999% خلوص نیتروژن تری فلوراید صنعت الکترونیک NF3

تری فلوراید نیتروژن با فلوئوراسیون مستقیم آمونیاک تهیه می شود. همچنین می توان آن را با الکترولیز بی فلوراید آمونیوم مذاب یا با ترکیب مستقیم نیتروژن عنصری و فلوئور با استفاده از تخلیه الکتریکی در دماهای پایین به دست آورد.

نیتروژن تری فلوراید یک گاز حکاکی پلاسما عالی در صنعت میکروالکترونیک است، به ویژه برای اچ کردن سیلیکون و نیترید سیلیکون، با نرخ و گزینش پذیری بالاتر مناسب است. تری فلوراید نیتروژن می تواند به عنوان یک سوخت پر انرژی یا به عنوان یک عامل اکسید کننده برای سوخت های پر انرژی استفاده شود. تری فلوراید نیتروژن همچنین می تواند در لیزرهای شیمیایی با انرژی بالا به عنوان یک عامل اکسید کننده برای لیزرهای هیدروژن فلوراید استفاده شود. در فرآیندهای لایه نازک برای تولید نیمه هادی و TFT-LCD، تری فلوراید نیتروژن به عنوان یک "عامل تمیز کننده" عمل می کند، اما این عامل تمیز کننده یک گاز است، نه مایع. از تری فلوراید نیتروژن می توان برای تهیه تترافلوئوروهیدرازین و فلوئوروکربن الفین استفاده کرد.

NF3 99.999% خلوص نیتروژن تری فلوراید صنعت الکترونیک NF3

پارامتر

اموالارزش
ظاهر و خواصگاز بی رنگ با بوی کپک زدگی
نقطه ذوب (℃)-208.5
مقدار PHبی معنی
چگالی نسبی (آب = 1)1.89
دمای بحرانی (℃)-39.3
چگالی نسبی بخار (هوا = 1)2.46
فشار بحرانی (MPa)4.53
فشار بخار اشباع (کیلو پاسکال)هیچ داده ای در دسترس نیست
نقطه جوش (℃)-129
ضریب تقسیم اکتانول/آبهیچ داده ای در دسترس نیست
نقطه اشتعال (°C)بی معنی
دمای اشتعال (درجه سانتیگراد)بی معنی
حد بالای انفجار % (V/V)بی معنی
حد پایین تر انفجار % (V/V)بی معنی
حلالیتنامحلول در آب

دستورالعمل های ایمنی

بررسی اضطراری: گاز بی رنگ با بوی کپک زده. سمی است، می تواند باعث یا تشدید احتراق شود. عامل اکسید کننده؛ گاز تحت فشار، اگر گرم شود می تواند منفجر شود. قرار گرفتن در معرض طولانی مدت یا مکرر می تواند باعث آسیب اندام شود. با استنشاق مضر است.
دسته بندی خطر GHS: گاز اکسید کننده -1، گاز تحت فشار - گاز فشرده، سمیت خاص سیستم اندام هدف با تماس مکرر -2، سمیت حاد - استنشاق -4.
کلمه هشدار: خطر
بیانیه خطر: می تواند باعث یا تشدید احتراق شود. عامل اکسید کننده؛ گاز تحت فشار، اگر گرم شود می تواند منفجر شود. قرار گرفتن در معرض طولانی مدت یا مکرر می تواند باعث آسیب اندام شود. با استنشاق مضر است.
موارد احتیاط:
· اقدامات پیشگیرانه:
- اپراتورها باید تحت آموزش های ویژه قرار گیرند و به شدت از رویه های عملیاتی پیروی کنند.
- کاملاً مهر و موم شده تا اگزوز محلی کافی و تهویه جامع را فراهم کند.
- توصیه می شود اپراتورها از تجهیزات حفاظت فردی استفاده کنند.
- از نشت گاز به هوای محیط کار جلوگیری کنید.
- دور از آتش و حرارت نگهداری شود.
- سیگار کشیدن در محل کار اکیدا ممنوع است.
- دور از مواد قابل اشتعال و احتراق نگهداری شود.
- از تماس با عوامل کاهنده خودداری کنید.
- بارگیری و تخلیه سبک در حین جابجایی برای جلوگیری از آسیب دیدن سیلندرها و لوازم جانبی.
- در محیط تخلیه نشود.
· واکنش به حادثه
- در صورت استنشاق، سریعاً از صحنه به هوای تازه منتقل کنید. راه هوایی خود را پاک نگه دارید. اگر تنفس سخت است، اینجا
اکسیژن را تجویز کنید. اگر تنفس و قلب متوقف شد، بلافاصله CPR را شروع کنید. به دنبال مراقبت پزشکی باشید.
-- جمع آوری نشت.
در صورت آتش سوزی، منبع هوا را قطع کنید، پرسنل آتش نشانی از ماسک ضد گاز استفاده کرده و در فاصله ایمن در جهت مخالف بایستند تا آتش را خاموش کنند.
· ذخیره سازی ایمن:
- در انبار گاز سمی خنک و دارای تهویه نگهداری می شود.
- دمای انبار نباید بیشتر از 30 درجه باشد.
- باید جدا از مواد آسان (قابل اشتعال)، مواد کاهنده، مواد شیمیایی خوراکی و غیره نگهداری شود و نباید مخلوط شود.
- محل ذخیره سازی باید مجهز به تجهیزات درمان اضطراری نشت باشد.
· دفع زباله:
- دفع طبق الزامات قوانین و مقررات ملی و محلی مربوطه. یا برای تعیین طرف دفع با سازنده تماس بگیرید
دارما.
خطرات فیزیکی و شیمیایی: سمی، اکسید کننده، می تواند باعث یا تشدید احتراق شود، برای محیط زیست مضر است. در معرض ضربه، اصطکاک، در صورت آتش باز یا سایر منابع اشتعال بسیار انفجاری است. در تماس با مواد قابل احتراق به راحتی مشتعل می شود.
خطرات سلامتی:برای مجاری تنفسی تحریک کننده است. ممکن است روی کبد و کلیه ها تأثیر بگذارد. قرار گرفتن در معرض مکرر یا طولانی مدت استنشاق ممکن است باعث فلوئوروزیس شود.
خطرات زیست محیطی:برای محیط زیست مضر است.

برنامه های کاربردی

نیمه هادی
فتوولتائیک خورشیدی
LED
ماشین سازی
صنایع شیمیایی
درمان پزشکی
غذا
تحقیقات علمی

محصولات مرتبط