صنعت پانل

با توسعه فناوری صفحه نمایش تخت، مشتریان به گازهای ویژه و دانش و تجربه حرفه ای مرتبط بیشتری نیاز دارند. Huazhong Gas طیف گسترده ای از مواد گازی ویژه، از جمله دوپینگ، رسوب فیلم، حکاکی و فرآیندهای تمیز کردن محفظه را به مشتریان صفحه تخت ارائه می دهد.

محصولات پیشنهادی برای صنعت شما

سیلان

گاز سیلان با گرید الکترونیکی عمدتاً در تولید TFT (ترانزیستور لایه نازک)/LCD (نمایشگر کریستال مایع) در صنعت پنل نمایشگر و رسوب لایه های TFT یا LTPS برای LCDها استفاده می شود.

آمونیاک

در ترکیب با سیلان، لایه نیترید سیلیکونی ترانزیستورهای a-Si را تشکیل می دهد.

گاز مخلوط

تولید ترانزیستورهای LTPS و MOS استفاده از اکسید نیتروژن را افزایش داده است. از منظر مصرف و استفاده در تولید MO، ​​N2O از NF3 پیشی گرفته و به پرمصرف ترین ماده الکترونیکی در تولید MO تبدیل شده است.

تری فلوراید نیتروژن

NF3 رایج ترین ماده الکترونیکی مورد استفاده در تولید صفحه نمایش a-Si و LTPS است و عمدتاً برای تمیز کردن محفظه های PECVD استفاده می شود.